可控测量力轮廓测量位移传感器的设计与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-12页 |
| ·目的与意义 | 第8-9页 |
| ·可控测量力轮廓测量传感器的发展 | 第9-10页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第10-11页 |
| ·课题来源 | 第11-12页 |
| 2 微位移传感器结构设计与实现 | 第12-23页 |
| ·微位移传感器结构及受力分析 | 第12-14页 |
| ·可控力传感器结构设计及受力分析 | 第14-16页 |
| ·可控力系统方案确定 | 第16-17页 |
| ·音圈电机的结构设计与安装 | 第17-19页 |
| ·音圈电机参数化简与确定 | 第19-21页 |
| ·可控力传感器起始零位确定 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 3 传感器专用控制卡的设计与实现 | 第23-33页 |
| ·PCI 控制卡实现方案的确定 | 第25-27页 |
| ·运动控制卡的软硬件实现 | 第27-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 传感器非线性误差分析及补偿 | 第33-40页 |
| ·非线性误差模型的建立 | 第33-34页 |
| ·非线性误差的分析 | 第34-36页 |
| ·非线性误差的补偿方法 | 第36-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 5 应用实例与实验 | 第40-49页 |
| ·音圈电机标定实验 | 第40-42页 |
| ·测量力可控验证实验 | 第42-44页 |
| ·非线性误差补偿系数标定实验 | 第44-47页 |
| ·非线性误差补偿效果验证实验 | 第47-49页 |
| 6 总结与展望 | 第49-51页 |
| ·全文总结 | 第49页 |
| ·对今后工作的展望 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-55页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文 | 第55-56页 |
| 附录Ⅱ 基于PCI 总线的运动控制卡实物图 | 第56页 |
