双光栅干涉位移传感器及其电路系统研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-14页
·课题来源	第8页
·目的与意义	第8页
·精密位移测量的国内外研究现状	第8-12页
·本文的主要研究内容	第12-14页
2 双光栅衍射干涉位移传感器原理及其系统设计	第14-24页
·双光栅衍射干涉位移测量原理	第14-16页
·双光栅衍射干涉位移传感器系统设计	第16-23页
·本章小结	第23-24页
3 干涉条纹计数细分电路设计	第24-45页
·电路总体设计	第24-25页
·光电探头及前置电路设计	第25-29页
·模拟信号调理电路设计	第29-32页
·基于迟滞比较器与微分器的抗噪声辨向计数电路设计	第32-41页
·细分与数据整合模块设计	第41-44页
·本章小结	第44-45页
4 数码显示与数据采集	第45-51页
·数码显示电路设计	第45-46页
·RS232 数据采集电路设计	第46-47页
·USB 数据采集电路及相关驱动程序设计	第47-50页
·单片机程序框架	第50页
·本章小结	第50-51页
5 实验与误差分析	第51-59页
·实验装置与结果	第51-54页
·误差分析	第54-58页
·本章小结	第58-59页
6 总结与展望	第59-61页
·全文总结	第59页
·工作展望	第59-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-65页
附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文	第65页