微纳光学环腔生物传感芯片的制备研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-10页
1 绪论	第10-16页
·光生物传感器概述	第10-12页
·光学环形谐振腔结构的研究进展	第12-14页
·本文的主要研究工作	第14-16页
2 光学环形谐振腔设计的理论基础	第16-23页
·单直波导光学环腔模型	第17-21页
·双直波导光学环腔模型	第21-22页
·本章小结	第22-23页
3 微纳光学环腔的设计与制备研究	第23-47页
·氮化硅波导的光学环腔的设计与制备	第23-35页
·硅波导的光学环腔的设计与制备	第35-46页
·本章小结	第46-47页
4 光学环腔芯片的性能测试及分析	第47-56页
·光学性能测试方案设计	第47-48页
·直波导传输损耗的测试及分析	第48-51页
·氮化硅波导光学环腔芯片的性能测试及分析	第51-54页
·硅波导光学环腔芯片的性能测试及分析	第54-55页
·本章小结	第55-56页
5 光学环腔芯片的封装和溶液测试分析	第56-69页
·光学环腔传感芯片的溶液测试方案设计	第56-58页
·光学环腔芯片的封装	第58-59页
·去离子水和乙醇溶液的测试及分析	第59-61页
·葡萄糖溶液浓度的测试及分析	第61-64页
·探测灵敏度分析	第64-67页
·本章小结	第67-69页
6 炭疽杆菌DNA溶液浓度的无标记测试及分析	第69-77页
·单链DNA溶液浓度的测试方法及步骤	第69-71页
·芯片表面的炭疽杆菌单链DNA固定及杂交效果	第71-75页
·炭疽杆菌单链DNA溶液浓度的测试及分析	第75-76页
·本章小结	第76-77页
7 微环传感片上集成器件的制备工艺研究	第77-100页
·硅基纳米光栅耦合器件的制备工艺研究	第77-83页
·富硅二氧化硅微盘的制备工艺研究	第83-89页
·原子层沉积与微环光子晶体的制备工艺研究	第89-98页
·本章小结	第98-100页
8 全文总结与展望	第100-102页
致谢	第102-104页
参考文献	第104-112页
附录1 攻读学位期间发表论文目录	第112页