嵌入式晶圆预对准控制系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第9页 |
| ·国内外研究发展现状及分析 | 第9-16页 |
| ·光刻技术研究发展现状及分析 | 第9-10页 |
| ·晶圆预对准技术研究发展现状 | 第10-15页 |
| ·嵌入式技术的应用和发展现状 | 第15-16页 |
| ·课题来源与主要研究内容 | 第16-18页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·本文主要研究内容和技术要求 | 第16-18页 |
| 第2章 晶圆预对准系统的结构和检测算法设计 | 第18-28页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·晶圆预对准系统的结构 | 第18-23页 |
| ·晶圆预对准系统的功能 | 第18-19页 |
| ·晶圆预对准系统的工作流程 | 第19-20页 |
| ·晶圆预对准系统结构设计 | 第20-23页 |
| ·晶圆预对准的检测算法的研究 | 第23-27页 |
| ·圆拟合算法 | 第23-26页 |
| ·缺口的检测方法 | 第26-27页 |
| ·嵌入式晶圆预对准控制系统的控制任务 | 第27页 |
| ·小结 | 第27-28页 |
| 第3章 嵌入式控制系统设计 | 第28-48页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·数字信号处理器（DSP）介绍 | 第28-30页 |
| ·数字信号处理芯片的选择 | 第29-30页 |
| ·嵌入式控制系统的总体结构和功能分析 | 第30-32页 |
| ·基于DSP嵌入式控制系统的总体结构 | 第30-31页 |
| ·基于DSP嵌入式控制系统的功能分析 | 第31-32页 |
| ·嵌入式控制系统硬件电路设计 | 第32-38页 |
| ·硬件电路实现 | 第38-41页 |
| ·单轴闭环运动控制硬件电路的实现 | 第39-40页 |
| ·嵌入式控制器硬件电路实现 | 第40-41页 |
| ·晶圆嵌入式控制系统软件的设计 | 第41-47页 |
| ·线阵CCD探测数据的采集 | 第41-42页 |
| ·马达闭环控制软件设计 | 第42-46页 |
| ·晶圆预对准控制算法设计 | 第46-47页 |
| ·控制器与上位机通讯和功能扩展分析 | 第47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第4章 晶圆预对准系统精度分析与实验研究 | 第48-59页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·晶圆预对准系统的精度分析 | 第48-53页 |
| ·机械和气动交换误差 | 第48-50页 |
| ·运动控制误差 | 第50-51页 |
| ·检测误差 | 第51-53页 |
| ·晶圆预对准控制实验 | 第53-58页 |
| ·真空吸附实验 | 第55页 |
| ·缺口重复定位实验及结果分析 | 第55-58页 |
| ·小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
