微机械谐振梁压力传感器研究
| 中文摘要 | 第1-6页 |
| 英文摘要 | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-27页 |
| §1．1压力传感器概述 | 第7-18页 |
| §1．1．1压阻式压力传感器 | 第8-12页 |
| §1．1．2电容式压力传感器 | 第12-14页 |
| §1．1．3真空微电子压力传感器 | 第14-16页 |
| §1．1．4谐振式压力传感器 | 第16-18页 |
| §1．2微谐振式压力传感器研究进展 | 第18-23页 |
| §1．2．1静电激励方式 | 第19-20页 |
| §1．2．2热激励方式 | 第20-22页 |
| §1．2．3电磁激励方式 | 第22-23页 |
| §1．3研究背景和意义 | 第23-25页 |
| §1．4本论文工作介绍 | 第25-27页 |
| 第2章 微谐振梁压力传感器理论分析 | 第27-45页 |
| §2．1谐振梁压力传感器结构设计 | 第27-29页 |
| §2．2简化模型数值分析 | 第29-44页 |
| §2．2．1梁机械振动及固有频率计算 | 第29-32页 |
| §2．2．2热激励受迫共振 | 第32-35页 |
| §2．2．3静电激励受迫共振 | 第35-37页 |
| §2．2．4硅压力膜的弯曲 | 第37-39页 |
| §2．2．5压力传感器灵敏度分析 | 第39-40页 |
| §2．2．6分析结果 | 第40-44页 |
| §2．3本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 有限元模拟分析 | 第45-69页 |
| §3．1单晶硅及氮化硅梁谐振器特性分析 | 第46-56页 |
| §3．1．1电热激励分析 | 第49-53页 |
| §3．1．2静电激励分析 | 第53-56页 |
| §3．2压力灵敏度分析 | 第56-64页 |
| §3．3新型半岛结构压力传感器 | 第64-67页 |
| §3．4本章小结 | 第67-69页 |
| 第4章 谐振式压力传感器制作 | 第69-86页 |
| §4．1MEMS工艺技术 | 第69-78页 |
| §4．1．1薄膜技术 | 第69-73页 |
| §4．1．2腐蚀技术 | 第73-74页 |
| §4．1．3牺牲层技术 | 第74-76页 |
| §4．1．4键合技术 | 第76-78页 |
| §4．2器件制造 | 第78-82页 |
| §4．2．1硅梁压力传感器 | 第78-79页 |
| §4．2．2氮化硅梁压力传感器 | 第79-82页 |
| §4．3封装 | 第82-85页 |
| §4．4本章小结 | 第85-86页 |
| 第5章 微传感器测试系统 | 第86-93页 |
| §5．1微传感器开环测试系统 | 第86-89页 |
| §5．2微传感器闭环测试系统 | 第89-90页 |
| §5．3压力传感器温度补偿 | 第90-92页 |
| §5．4本章小结 | 第92-93页 |
| 第6章 实验结果及分析 | 第93-106页 |
| §6．1微谐振器振动特性 | 第93-96页 |
| §6．2微谐振器非线性振动特性 | 第96-99页 |
| §6．3压力传感器特性 | 第99-100页 |
| §6．4压力传感器温度特性 | 第100-105页 |
| §6．5本章小结 | 第105-106页 |
| 第7章 结论 | 第106-109页 |
| 参考文献 | 第109-115页 |
| 博士论文期间发表论文目录 | 第115-117页 |
| 致谢 | 第117页 |
