| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| 1.1 课题研究的目的及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外光刻机研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 国外光刻机研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 国内光刻机研究现状 | 第13页 |
| 1.3 国内外超精密测量技术研究现状 | 第13-16页 |
| 1.4 课题主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 微动测量系统布局及模型的建立 | 第18-33页 |
| 2.1 引言 | 第18页 |
| 2.2 基于激光干涉仪及霍尔传感器的微动测量系统布局 | 第18-27页 |
| 2.2.1 微动测量系统技术指标分析 | 第18-20页 |
| 2.2.2 激光干涉仪测量布局分析 | 第20-25页 |
| 2.2.3 霍尔传感器布局分析 | 第25-27页 |
| 2.3 微动测量系统建模 | 第27-31页 |
| 2.3.1 Z向测量轴建模 | 第27-30页 |
| 2.3.2 X/Y向测量轴建模 | 第30-31页 |
| 2.4 微动测量系统建模方案可行性分析 | 第31-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 微动测量系统误差分析及补偿 | 第33-50页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 微动测量系统误差来源 | 第33-35页 |
| 3.3 微动测量系统误差分析 | 第35-48页 |
| 3.3.1 激光干涉仪外部误差分析 | 第35-39页 |
| 3.3.2 激光干涉仪光学非线性误差分析 | 第39-48页 |
| 3.3.3 霍尔传感器误差分析 | 第48页 |
| 3.4 微动测量系统误差补偿技术 | 第48-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第4章 微动测量系统数据处理 | 第50-63页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 单自由度微动测量系统数据处理 | 第50页 |
| 4.3 六自由度微动测量系统数据处理及误差补偿 | 第50-61页 |
| 4.3.1 六自由度测量系统数据处理 | 第51-54页 |
| 4.3.2 六自由度测量系统仿真 | 第54-61页 |
| 4.4 微动测量系统数据解算的可行性分析 | 第61-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 微动测量系统实验验证 | 第63-76页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 微动测量系统零位校准分析 | 第63-68页 |
| 5.2.1 激光干涉仪零位校准 | 第63-64页 |
| 5.2.2 零位校准系统建模 | 第64-68页 |
| 5.2.3 零位校准流程 | 第68页 |
| 5.3 单自由度微动测量系统实验验证 | 第68-70页 |
| 5.4 六自由度微动测量系统实验验证 | 第70-75页 |
| 5.5 本章小结 | 第75-76页 |
| 结论 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-84页 |
| 致谢 | 第84页 |