| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 声表面波传感器的研究意义 | 第7-9页 |
| 1.2 SAW传感器的分类 | 第9-11页 |
| 1.2.1 按SAW振荡器的结构分类 | 第9-10页 |
| 1.2.2 按声波模式分类 | 第10-11页 |
| 1.3 声表面波传感器研究的进展 | 第11-12页 |
| 1.4 ZnO材料 | 第12-14页 |
| 1.5 论文的内容安排 | 第14-15页 |
| 第二章 SAW器件基本理论 | 第15-25页 |
| 2.1 基本声波理论及压电介质中的声波 | 第15-19页 |
| 2.2 坐标变换 | 第19-20页 |
| 2.3 SAW器件的有限元仿真 | 第20-24页 |
| 2.3.1 有限元方法 | 第20-21页 |
| 2.3.2 COMSOL中的仿真方法 | 第21-24页 |
| 2.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于ZnO压电薄膜SAW器件的特性研究 | 第25-47页 |
| 3.1 基于IDT/ZnO films/Silica Glass基底SAW器件的特性研究 | 第25-44页 |
| 3.1.1 SH-SAW特性的研究 | 第25-37页 |
| 3.1.2 Rayleigh-Wave特性的研究 | 第37-44页 |
| 3.2 基于ZnO films/IDT/36?YX-LiTaO_3基底Love波的声学特性研究 | 第44-46页 |
| 3.2.1 (0001)ZnO和(11^-20)ZnO导波层的影响 | 第44-45页 |
| 3.2.2 声波特性随声波传播方向的变化 | 第45-46页 |
| 3.3 本章小结 | 第46-47页 |
| 第四章 声表面波传感器液体传感仿真 | 第47-51页 |
| 4.1 仿真模型及基本理论介绍 | 第47-48页 |
| 4.2 液体机械性质与电学性质对SAW传感器质量灵敏度的影响 | 第48-50页 |
| 4.3 声表面波液体传感器的频响分析 | 第50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 (11^-20)ZnO薄膜的非外延制备及SAW器件研制 | 第51-59页 |
| 5.1 ZnO薄膜的制备方法及其基本物性表征方法 | 第51-54页 |
| 5.1.1 ZnO薄膜的制备方法 | 第51-53页 |
| 5.1.2 X射线衍射分析 | 第53页 |
| 5.1.3 扫描电子显微镜 | 第53-54页 |
| 5.1.4 薄膜厚度测量 | 第54页 |
| 5.2 制备条件对ZnO薄膜生长的影响 | 第54-57页 |
| 5.3 SAW传感器的制备 | 第57-58页 |
| 5.4 本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
