大直径单晶炉Cusp磁场设计与研究
| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-13页 |
| 1 绪论 | 第13-23页 |
| ·课题研究背景 | 第13-15页 |
| ·信息产业背景 | 第13-14页 |
| ·光伏产业背景 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-21页 |
| ·本课题研究内容 | 第21-23页 |
| ·课题来源 | 第21页 |
| ·主要研究内容 | 第21-23页 |
| 2 MCZ法基本原理 | 第23-35页 |
| ·CZ法基本原理 | 第23-25页 |
| ·MCZ系统的熔体对流 | 第25-29页 |
| ·MCZ系统中氧的运输 | 第29-32页 |
| ·磁场的类型 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 3 CUSP磁场有限元分析 | 第35-49页 |
| ·CUSP磁场建模软件及基础 | 第35-36页 |
| ·CUSP磁场结构参数分析与优化 | 第36-46页 |
| ·线圈结构参数分析 | 第36-43页 |
| ·导磁体结构分析 | 第43-45页 |
| ·CUSP磁场方案 | 第45-46页 |
| ·单晶炉内CUSP磁场分布 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 4 CUSP磁场关键技术研究 | 第49-73页 |
| ·CUSP磁场装置功率分析 | 第49-55页 |
| ·CUSP磁场结构分析 | 第55-61页 |
| ·CUSP磁场概述 | 第55-56页 |
| ·CUSP磁场线圈结构设计 | 第56-61页 |
| ·CUSP磁场装置冷却系统研究 | 第61-71页 |
| ·总体结构介绍 | 第61-62页 |
| ·冷却系统方案研究 | 第62-65页 |
| ·冷却系统设计 | 第65-71页 |
| ·本章小结 | 第71-73页 |
| 5 CUSP磁场试验与结果分析 | 第73-87页 |
| ·CUSP磁场装置原理性试验 | 第73-74页 |
| ·CUSP磁场装置上电性能试验 | 第74-80页 |
| ·CUSP磁场装置下单晶炉拉晶试验 | 第80-86页 |
| ·本章小结 | 第86-87页 |
| 6 总结和展望 | 第87-89页 |
| ·总结 | 第87-88页 |
| ·展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-94页 |
| 附录 | 第94页 |
