MOCVD的在线膜厚监测系统的设计与实现
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| ·课题来源 | 第9-10页 |
| ·在线监测仪表研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·在线监测仪的国内外发展状况 | 第11-13页 |
| ·本文研究的内容和论文安排 | 第13-15页 |
| ·研究内容 | 第13-14页 |
| ·论文安排 | 第14-15页 |
| 第2章 微弱信号检测技术 | 第15-23页 |
| ·微弱信号中的噪声 | 第15-16页 |
| ·相关检测技术 | 第16-18页 |
| ·自相关检测 | 第17页 |
| ·互相关检测 | 第17-18页 |
| ·取样分析法 | 第18-19页 |
| ·锁定放大器技术 | 第19-22页 |
| ·锁定放大的基本原理 | 第19-20页 |
| ·锁定放大器的抗噪性能原理 | 第20-21页 |
| ·乘法器的选择 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-23页 |
| 第3章 在线膜厚监测系统设计 | 第23-35页 |
| ·膜厚干涉理论 | 第23-25页 |
| ·MOCVD测试环境概述 | 第25-26页 |
| ·测试系统设计 | 第26页 |
| ·系统光路和机械结构设计 | 第26-30页 |
| ·光学系统设计 | 第26-29页 |
| ·机械结构设计 | 第29-30页 |
| ·电路系统设计 | 第30-34页 |
| ·光电转换电路 | 第30-31页 |
| ·DDS调制电路 | 第31-32页 |
| ·激光器驱动电路 | 第32-33页 |
| ·锁定放大器的设计 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 整体系统调试 | 第35-44页 |
| ·光学系统调试 | 第35-36页 |
| ·硬件系统调试 | 第36-40页 |
| ·激光驱动调试 | 第36-37页 |
| ·锁定放大调试 | 第37-38页 |
| ·主控芯片调试 | 第38-40页 |
| ·软件调试 | 第40-43页 |
| ·采样时序分析 | 第40-41页 |
| ·软件控制方式 | 第41-42页 |
| ·上位机软件实现 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第5章 数值分析与系统改进 | 第44-52页 |
| ·薄膜表面生长的反射模型 | 第44-46页 |
| ·无吸收表面的二维生长模型 | 第44页 |
| ·有宏观粗糙度表面的生长模型 | 第44-45页 |
| ·有较大涨落表面的相差模型 | 第45-46页 |
| ·工艺过程薄膜干涉曲线分析 | 第46-48页 |
| ·提高干涉精度的方法 | 第48-51页 |
| ·电路保护环设计 | 第48-49页 |
| ·双路激光检测 | 第49-50页 |
| ·防翘曲设计 | 第50-51页 |
| ·优化驱动器性能 | 第51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第6章 总结与展望 | 第52-54页 |
| ·全文总结 | 第52-53页 |
| ·后期展望 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
