| 目录 | 第1-7页 |
| CONTENTS | 第7-10页 |
| 摘要 | 第10-13页 |
| ABSTRACT | 第13-16页 |
| 符号表 | 第16-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-38页 |
| §1.1 概述 | 第18-19页 |
| §1.2 SnO_2 材料的性质及其应用 | 第19-24页 |
| ·结构性质 | 第19-20页 |
| ·光学性质 | 第20-22页 |
| ·电学性质 | 第22-23页 |
| ·SnO_2材料的应用 | 第23-24页 |
| §1.3 SnO_2薄膜的制备 | 第24-26页 |
| §1.4 SnO_2薄膜的研究现状 | 第26-30页 |
| §1.5 选题依据与前景 | 第30-33页 |
| 本章参考文献 | 第33-38页 |
| 第二章 实验设备和测试分析方法简介 | 第38-56页 |
| §2.1 金属有机化学气相沉积法 | 第38-43页 |
| ·金属有机化学气相沉积的基本原理及特点 | 第38-40页 |
| ·MOCVD系统介绍 | 第40-43页 |
| §2.2 本实验所用的MOCVD系统简介 | 第43-48页 |
| ·MOCVD设备简介 | 第43-47页 |
| ·实验工艺流程简介 | 第47-48页 |
| §2.3 本论文涉及的测试分析方法介绍 | 第48-54页 |
| ·样品结构形貌分析 | 第48-50页 |
| ·样品成分分析 | 第50-52页 |
| ·样品光学性质测量 | 第52-53页 |
| ·样品电学性质测量 | 第53-54页 |
| 本章参考文献 | 第54-56页 |
| 第三章 TiO_2(001)衬底上SnO_2薄膜的制备与性质研究 | 第56-66页 |
| §3.1 SnO_2薄膜的制备 | 第56-57页 |
| ·衬底清洗 | 第56页 |
| ·薄膜的制备 | 第56-57页 |
| §3.2 SnO_2 薄膜的基本结构及成分分析 | 第57-61页 |
| §3.3 TiO_2(001)衬底上SnO_2薄膜的外延机理分析 | 第61-63页 |
| §3.4 SnO_2薄膜的光学性质 | 第63-65页 |
| 本章参考文献 | 第65-66页 |
| 第四章 MgO(100)衬底上SnO_2薄膜的制备与性质研究 | 第66-80页 |
| §4.1 薄膜的制备 | 第66-67页 |
| §4.2 SnO_2 薄膜的结构与成分分析 | 第67-70页 |
| §4.3 SnO_2薄膜的外延机理分析 | 第70-74页 |
| §4.4 SnO_2薄膜的形貌分析 | 第74-76页 |
| §4.5 SnO_2薄膜的电学性质研究 | 第76-77页 |
| §4.6 SnO_2薄膜的光学性质研究 | 第77-79页 |
| 本章参考文献 | 第79-80页 |
| 第五章 TiO_2衬底上SnO_2：Sb薄膜的制备与性质研究 | 第80-92页 |
| §5.1 薄膜的制备 | 第80-81页 |
| §5.2 SnO_2 ：Sb薄膜的结构分析 | 第81-83页 |
| §5.3 SnO_2：Sb薄膜的表面形貌及厚度分析 | 第83-84页 |
| §5.4 SnO_2：Sb薄膜的成分分析 | 第84-87页 |
| §5.5 SnO_2：Sb薄膜的光学性质 | 第87-88页 |
| §5.6 SnO_2：Sb薄膜的电学性质 | 第88-91页 |
| 本章参考文献 | 第91-92页 |
| 第六章 MgO衬底上SnO_2：Sb薄膜的制备与性质研究 | 第92-102页 |
| §6.1 薄膜的制备 | 第92-93页 |
| §6.2 薄膜的结构分析 | 第93-95页 |
| §6.3 薄膜的形貌分析 | 第95-96页 |
| §6.4 薄膜的光学性质 | 第96-98页 |
| §6.5 薄膜的电学性质 | 第98-101页 |
| 本章参考文献 | 第101-102页 |
| 第七章 结论 | 第102-105页 |
| §7.1 SnO_2薄膜的制备与性质研究 | 第102-103页 |
| §7.2 SnO_2 ：Sb薄膜的制备与性质研究 | 第103-105页 |
| 博士期间发表学术论文目录 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107-108页 |
| Paper 1 | 第108-115页 |
| Paper 2 | 第115-122页 |
| 附件 | 第122页 |
