集成电路测试系统微小微电子参量校准技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目次 | 第7-9页 |
| 图表目录 | 第9-11页 |
| 第一章 概述 | 第11-20页 |
| 1 研究背景 | 第11-12页 |
| 2 国内外现状 | 第12-17页 |
| 3 研究意义 | 第17-18页 |
| ·实现集成电路测试系统微电子参量的溯源 | 第17-18页 |
| ·保障国防军工武器装备的质量 | 第18页 |
| 4 主要研究内容 | 第18-19页 |
| ·集成电路测试系统微小参量特性分析 | 第18页 |
| ·研制集成电路测试系统微小微电子参量校准装置 | 第18页 |
| ·开发集成电路测试系统校准装置校准软件 | 第18-19页 |
| ·研究集成电路测试系统校准装置量值传递技术 | 第19页 |
| 5 论文结构 | 第19-20页 |
| 第二章 原理及方法 | 第20-35页 |
| 1 信号调理 | 第20-21页 |
| 2 绝缘电阻 | 第21-24页 |
| 3 数字信号处理 | 第24-33页 |
| ·聚类分析 | 第24-25页 |
| ·数字滤波 | 第25-31页 |
| ·数字拟合 | 第31-33页 |
| 4 校准 | 第33-34页 |
| 5 小结 | 第34-35页 |
| 第三章 校准装置硬件设计 | 第35-49页 |
| 1 装置系统结构 | 第35-36页 |
| 2 信号调制与放大 | 第36-38页 |
| 3 偏置补偿和调零 | 第38页 |
| 4 自动增益及控制 | 第38-41页 |
| 5 滤波器设计 | 第41-42页 |
| 6 模数转换及控制 | 第42-43页 |
| 7 数据处理 | 第43-44页 |
| 8 通信和控制接口 | 第44-45页 |
| 9 装置实现与误差分析 | 第45-47页 |
| ·测量设备内阻的影响 | 第45页 |
| ·等效电容对输出噪声的影响 | 第45页 |
| ·压电效应和摩擦电效应 | 第45-46页 |
| ·电化学效应 | 第46页 |
| ·表面泄漏电流 | 第46-47页 |
| ·线缆屏蔽及归环 | 第47页 |
| 10 小结 | 第47-49页 |
| 第四章 校准装置软件设计 | 第49-63页 |
| 1 装置软件总体结构 | 第49页 |
| 2 模块驱动及控制 | 第49-55页 |
| ·自动增益驱动 | 第49-50页 |
| ·ADC 驱动 | 第50-53页 |
| ·USB 驱动 | 第53-55页 |
| 3 校准流程控制 | 第55-59页 |
| ·电压测量 | 第55页 |
| ·电流测量 | 第55-56页 |
| ·电压校准 | 第56-57页 |
| ·电流校准 | 第57-58页 |
| ·上位机显示和控制 | 第58-59页 |
| 4 数字信号处理 | 第59-61页 |
| 5 小结 | 第61-63页 |
| 第五章 测量结果及不确定度分析 | 第63-65页 |
| 第六章 结论及展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 详细摘要 | 第72-75页 |
