金属互连电迁移可靠性的新表征参量研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-5页
目录	第5-7页
第一章 绪论	第7-9页
·研究背景	第7-8页
·论文结构及研究内容	第8-9页
第二章 金属互连电迁移失效物理及表征参量与模型	第9-17页
·电迁移现象及失效机理	第9-13页
·电迁移现象	第9-10页
·电迁移失效机理	第10-13页
·电迁移过程传统表征参量及可靠性研究现状	第13-15页
·电迁移过程传统表征参量	第13-15页
·电迁移可靠性研究现状	第15页
·电迁移噪声特性	第15-17页
第三章 形理论与相关积分法用于电迁移噪声分析	第17-31页
·维数的概念与分数维	第17-19页
·1/f噪声的分形特性	第19-20页
·相关积分分析方法	第20-31页
·相关积分法用于电迁移噪声分析	第22-25页
·相关积分法用于电迁移失效预测	第25-27页
·遗留问题	第27-31页
第四章 高阶统计量法用于电迁移噪声分析及结果讨论	第31-37页
·高阶统计量分析方法	第31-32页
·高阶统计量法用于电迁移噪声分析结果及讨论	第32-35页
·高阶统计量与电阻对比研究	第35-37页
第五章 结论与展望	第37-39页
·论文成果	第37页
·后续研究方向	第37-38页
·展望	第38-39页
致谢	第39-41页
参考文献	第41-45页
作者在读期间的研究成果	第45页