MEMS多层模材料参数在线提取方法的研究
| 第一章 绪论 | 第1-19页 |
| ·微机电系统(MEMS)的概念 | 第15页 |
| ·发展MEMS的意义与发展前景 | 第15-16页 |
| ·论文的工作 | 第16-19页 |
| ·论文工作的原由 | 第16-17页 |
| ·论文工作的目的 | 第17页 |
| ·论文工作的意义 | 第17-19页 |
| 第二章 材料参数测试方法 | 第19-28页 |
| ·薄膜中残余应力的起源 | 第19页 |
| ·常见的材料参数提取方法 | 第19-26页 |
| ·基片曲率测试法 | 第20-21页 |
| ·单层薄膜的情况 | 第20页 |
| ·多层薄膜的情况 | 第20-21页 |
| ·微梁旋转法 | 第21-22页 |
| ·弯梁应变传感器法 | 第22页 |
| ·静电执行法 | 第22-26页 |
| ·Petersen模型 | 第22-24页 |
| ·Najafi and Suzuki模型 | 第24-25页 |
| ·Osterbetg模型 | 第25-26页 |
| ·Zou模型 | 第26页 |
| ·结论 | 第26-28页 |
| 第三章 多层膜材料参数的在线提取 | 第28-49页 |
| ·单层固支梁模型 | 第28-31页 |
| ·多层固支梁模型 | 第31-35页 |
| ·吸合电压的模拟验证 | 第35-44页 |
| ·材料参数的提取 | 第44-46页 |
| ·材料参数提取方法的验证 | 第46-47页 |
| ·结论 | 第47-49页 |
| 第四章 测试结构版图设计 | 第49-63页 |
| ·北大MEMS标准工艺 | 第49-52页 |
| ·测试梁长度的确定 | 第52-53页 |
| ·长度确定的依据 | 第52-53页 |
| ·测试梁长度的确定 | 第53页 |
| ·测试梁宽度的设计 | 第53-56页 |
| ·测试梁锚区的设计 | 第56-61页 |
| ·测试梁锚区需要改进的原因 | 第56页 |
| ·测试梁锚区的设计 | 第56-58页 |
| ·测试梁锚区设计的模拟 | 第58-61页 |
| ·测试结构版图 | 第61-63页 |
| 第五章 论文工作及创新点总结 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 附求一 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第68页 |
