微惯性流体器件中的流动和传热及其工程应用
| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 主要符号表 | 第9-13页 |
| 第一章 前言 | 第13-24页 |
| 1．1 研究背景 | 第13-18页 |
| 1．1．1 微电子机械系统（MEMS）发展概况 | 第13-17页 |
| 1．1．2 微机械惯性器件的应用 | 第17-18页 |
| 1．2 微机械惯性传感器的研究现状 | 第18-21页 |
| 1．2．1 微机械惯性传感器的综述性研究 | 第18-19页 |
| 1．2．2 微机械加速度计 | 第19-20页 |
| 1．2．3 微机械陀螺仪 | 第20-21页 |
| 1．3 MEMS中流动和换热的基本规律 | 第21-22页 |
| 1．4 微机械惯性传感器中的问题和解决思路 | 第22-23页 |
| 1．5 本文内容和研究路线 | 第23-24页 |
| 第二章 微机械热对流加速度计的热分析 | 第24-41页 |
| 2．1 控制方程和数值模拟 | 第26-28页 |
| 2．2 热对流加速度计的性能分析 | 第28-36页 |
| 2．2．1 线性度分析 | 第28-29页 |
| 2．2．2 灵敏度分析 | 第29-36页 |
| 2．2．3 频率响应分析 | 第36页 |
| 2．3 传感器布置的改进 | 第36-40页 |
| 2．4 小结 | 第40-41页 |
| 第三章 微机械热对流加速度计的实验测试 | 第41-54页 |
| 3．1 器件加工 | 第41-42页 |
| 3．2 数值分析的实验验证 | 第42-45页 |
| 3．3 热对流加速度计的性能指标测试 | 第45-49页 |
| 3．4 加热丝表面温度测量 | 第49-53页 |
| 3．4．1 测量原理 | 第49-52页 |
| 3．4．2 测量结果 | 第52-53页 |
| 3．5 小结 | 第53-54页 |
| 第四章 自然对流的尺度效应 | 第54-67页 |
| 4．1 大空间自然对流的尺度效应 | 第55-58页 |
| 4．1．1 量级分析 | 第55-56页 |
| 4．1．2 尺度效应探讨 | 第56-58页 |
| 4．2 二维方腔自然对流的尺度效应 | 第58-66页 |
| 4．2．1 计算模型 | 第58-60页 |
| 4．2．2 惯性力和粘性力的相对大小随Ra的变化 | 第60-62页 |
| 4．2．3 换热关系式 | 第62-64页 |
| 4．2．4 表面辐射与对流换热随Ra的变化 | 第64-66页 |
| 4．3 小结 | 第66-67页 |
| 第五章 合成喷的设计分析和流场模拟 | 第67-96页 |
| 5．1 合成喷的基本介绍 | 第67-70页 |
| 5．1．1 合成喷的基本原理 | 第67-68页 |
| 5．1．2 合成喷的特点及其应用 | 第68-69页 |
| 5．1．3 合成喷的研究现状 | 第69-70页 |
| 5．2 合成喷的设计和分析 | 第70-82页 |
| 5．2．1 设计的基本思路 | 第71-73页 |
| 5．2．2 尺寸设计 | 第73-75页 |
| 5．2．3 输入电参数分析 | 第75-80页 |
| 5．2．4 实验验证 | 第80-82页 |
| 5．3 合成喷流场的数值模拟 | 第82-90页 |
| 5．3．1 控制方程和数值方法 | 第83-85页 |
| 5．3．2 射流流场 | 第85-86页 |
| 5．3．3 射流截面速度分布 | 第86-87页 |
| 5．3．4 中心线速度 | 第87-88页 |
| 5．3．5 不同Red和Std下的流场数值计算 | 第88-90页 |
| 5．4 合成喷的尺度效应探讨 | 第90-95页 |
| 5．4．1 合成喷射流形成的基本过程 | 第92页 |
| 5．4．2 尺度微细化对合成喷性能影响分析 | 第92-95页 |
| 5．5 小结 | 第95-96页 |
| 第六章 合成喷陀螺仪 | 第96-106页 |
| 6．1 合成喷陀螺仪的基本测量原理 | 第97-98页 |
| 6．2 合成喷陀螺仪的构想 | 第98-100页 |
| 6．3 合成喷陀螺仪的初步设计 | 第100-105页 |
| 6．3．1 角速度作用下的射流偏转 | 第102页 |
| 6．3．2 射流偏转的检测 | 第102-105页 |
| 6．4 小结 | 第105-106页 |
| 第七章 结论 | 第106-108页 |
| 参考文献 | 第108-116页 |
| 致谢 | 第116-117页 |
| 个人简历 | 第117页 |
| 攻读博士学位期间的成果 | 第117-119页 |
