| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| CONTENT | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-26页 |
| ·ZnO的结构和性质 | 第15-21页 |
| ·ZnO的晶体结构 | 第15-16页 |
| ·ZnO的能带结构 | 第16-17页 |
| ·ZnO的缺陷及掺杂 | 第17-19页 |
| ·ZnO的基本性质 | 第19-21页 |
| ·太阳能电池概述 | 第21-24页 |
| ·太阳能电池发展现状 | 第21-23页 |
| ·太阳能电池分类 | 第23-24页 |
| ·本文研究的目的与内容 | 第24-26页 |
| 第二章 磁控溅射法制备薄膜及其检测 | 第26-35页 |
| ·薄膜的制备 | 第26-31页 |
| ·磁控溅射法的原理及特点 | 第26-29页 |
| ·薄膜的制备 | 第29-31页 |
| ·薄膜的表征方法 | 第31-35页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第31-32页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第32-33页 |
| ·荧光光谱仪 | 第33页 |
| ·紫外-可见-分光光度计 | 第33-35页 |
| 第三章 磁控溅射法制备Zn_(1-x)Mg_xO薄膜及其结构性能的研究 | 第35-45页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO薄膜的制备 | 第35页 |
| ·Zn_(1-x)Mg_xO薄膜结构和性能的分析 | 第35-40页 |
| ·XRD谱及分析 | 第35-37页 |
| ·SEM图及分析 | 第37-38页 |
| ·透射光谱及分析 | 第38-39页 |
| ·光致发光谱及分析 | 第39-40页 |
| ·退火对Zn_(1-x)Mg_xO薄膜结构和性能的影响 | 第40-44页 |
| ·XRD谱及分析 | 第40-41页 |
| ·SEM图及分析 | 第41-42页 |
| ·透射光谱及分析 | 第42-43页 |
| ·光致发光谱及分析 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 ZAO/Si异质结电池的制备 | 第45-56页 |
| ·太阳能电池转换机理 | 第45-48页 |
| ·太阳能电池性能表征 | 第48-51页 |
| ·ZAO/Si异质结电池的制备 | 第51-55页 |
| ·Si基片绒而的制备 | 第51-53页 |
| ·溅射n型ZAO薄膜形成p-n结 | 第53页 |
| ·金属电极的制备 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 ZAO/Si异质结生长条件的优化 | 第56-71页 |
| ·衬底温度 | 第56-63页 |
| ·XRD谱及分析 | 第56-57页 |
| ·SEM图及分析 | 第57-59页 |
| ·电池性能分析 | 第59-63页 |
| ·氧氩比 | 第63-66页 |
| ·XRD谱及分析 | 第63-64页 |
| ·SEM图及分析 | 第64-65页 |
| ·电池性能分析 | 第65-66页 |
| ·溅射功率 | 第66-70页 |
| ·XRD谱及分析 | 第67页 |
| ·SEM图及分析 | 第67-68页 |
| ·电池性能分析 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-74页 |
| 论文创新点 | 第73页 |
| 有待进一步开展的工作 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |