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MEMS压阻式三维微触觉力传感器的研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-9页
第一章 绪论第9-20页
   ·力传感器第9-10页
     ·力传感器发展概述第9页
     ·力传感器的分类及特点第9-10页
   ·MEMS 技术及其特点第10-11页
   ·基于MEMS 技术的微小力传感器第11-19页
     ·国外MEMS 微小力传感器的研究现状第11-16页
     ·国内MEMS 微小力传感器的研究现状第16-19页
   ·论文完成的主要工作第19-20页
第二章 MEMS 压阻式三维微触觉力传感器第20-37页
   ·传感器的工作原理第20-21页
     ·传感器的结构第20-21页
     ·传感器的检测原理第21页
   ·传感器的力学模型及受力分析第21-25页
     ·传感器的轴向力学模型第21-23页
     ·传感器的横向力学模型第23-25页
   ·传感器的结构设计第25-31页
     ·半导体压阻效应第25-26页
     ·压敏电阻的位置排布第26-27页
     ·压敏电阻的尺寸计算第27-29页
     ·压敏电阻的连接方式第29页
     ·传感器的版图设计第29-31页
   ·传感器的加工第31-35页
     ·传感器敏感单元的加工第31-34页
     ·传感器测杆的加工第34-35页
   ·传感器的封装第35-36页
   ·本章总结第36-37页
第三章 传感器力特性的标定方法与标定系统第37-49页
   ·传感器力特性的标定原理与标定方法第37-40页
     ·悬臂梁弯曲变形原理第37-38页
     ·传感器的标定方法第38-40页
     ·传感器的力特性方程第40页
   ·传感器力特性的标定系统第40-44页
     ·标定系统的结构第40-43页
     ·标定用悬臂梁的尺寸选择第43-44页
   ·悬臂梁弹性系数的标定系统第44-45页
   ·传感器测杆位移特性系数的标定系统第45-48页
     ·标定系统的结构第45-46页
     ·高精度的纳米测量机(NMM)第46-48页
   ·本章总结第48-49页
第四章 基于MEMS 压阻式三维微触觉力传感器的三维微小力测量系统第49-68页
   ·三维微小力测量系统的结构第49-50页
   ·测量系统的硬件电路第50-60页
     ·信号调理电路第50-55页
     ·单片机第55-57页
     ·A/D 转换器第57-58页
     ·LCD 显示模块第58-59页
     ·存储器第59-60页
     ·串口第60页
   ·单片机软件程序第60-65页
     ·主程序设计第61-62页
     ·A/D 转换子序设计第62-63页
     ·LCD 显示子程序框图第63-65页
   ·上位机软件程序第65-67页
     ·LabVIEW 简介第65页
     ·上位机LabVIEW 程序第65-67页
   ·本章总结第67-68页
第五章 实验结果与分析第68-97页
   ·传感器力特性标定系统输入—输出特性系数的标定实验第68-84页
     ·传感器X 方向力特性标定系统输入—输出特性系数的标定第69-74页
     ·传感器Y 方向力特性标定系统输入—输出特性系数的标定第74-80页
     ·传感器Z 方向力特性标定系统输入—输出特性系数的标定第80-84页
   ·悬臂梁弹性系数的标定实验第84-87页
   ·传感器测杆位移特性系数的标定实验第87-89页
   ·传感器力特性的标定结果第89-90页
   ·微小力测量实验第90-95页
     ·微小力测量的实验系统第90-91页
     ·微小力测量的实验结果第91-95页
   ·本章总结第95-97页
第六章 总结与展望第97-99页
参考文献第99-102页
发表论文和参加科研情况说明第102-103页
致谢第103页

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