摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-9页 |
第一章 绪论 | 第9-20页 |
·力传感器 | 第9-10页 |
·力传感器发展概述 | 第9页 |
·力传感器的分类及特点 | 第9-10页 |
·MEMS 技术及其特点 | 第10-11页 |
·基于MEMS 技术的微小力传感器 | 第11-19页 |
·国外MEMS 微小力传感器的研究现状 | 第11-16页 |
·国内MEMS 微小力传感器的研究现状 | 第16-19页 |
·论文完成的主要工作 | 第19-20页 |
第二章 MEMS 压阻式三维微触觉力传感器 | 第20-37页 |
·传感器的工作原理 | 第20-21页 |
·传感器的结构 | 第20-21页 |
·传感器的检测原理 | 第21页 |
·传感器的力学模型及受力分析 | 第21-25页 |
·传感器的轴向力学模型 | 第21-23页 |
·传感器的横向力学模型 | 第23-25页 |
·传感器的结构设计 | 第25-31页 |
·半导体压阻效应 | 第25-26页 |
·压敏电阻的位置排布 | 第26-27页 |
·压敏电阻的尺寸计算 | 第27-29页 |
·压敏电阻的连接方式 | 第29页 |
·传感器的版图设计 | 第29-31页 |
·传感器的加工 | 第31-35页 |
·传感器敏感单元的加工 | 第31-34页 |
·传感器测杆的加工 | 第34-35页 |
·传感器的封装 | 第35-36页 |
·本章总结 | 第36-37页 |
第三章 传感器力特性的标定方法与标定系统 | 第37-49页 |
·传感器力特性的标定原理与标定方法 | 第37-40页 |
·悬臂梁弯曲变形原理 | 第37-38页 |
·传感器的标定方法 | 第38-40页 |
·传感器的力特性方程 | 第40页 |
·传感器力特性的标定系统 | 第40-44页 |
·标定系统的结构 | 第40-43页 |
·标定用悬臂梁的尺寸选择 | 第43-44页 |
·悬臂梁弹性系数的标定系统 | 第44-45页 |
·传感器测杆位移特性系数的标定系统 | 第45-48页 |
·标定系统的结构 | 第45-46页 |
·高精度的纳米测量机(NMM) | 第46-48页 |
·本章总结 | 第48-49页 |
第四章 基于MEMS 压阻式三维微触觉力传感器的三维微小力测量系统 | 第49-68页 |
·三维微小力测量系统的结构 | 第49-50页 |
·测量系统的硬件电路 | 第50-60页 |
·信号调理电路 | 第50-55页 |
·单片机 | 第55-57页 |
·A/D 转换器 | 第57-58页 |
·LCD 显示模块 | 第58-59页 |
·存储器 | 第59-60页 |
·串口 | 第60页 |
·单片机软件程序 | 第60-65页 |
·主程序设计 | 第61-62页 |
·A/D 转换子序设计 | 第62-63页 |
·LCD 显示子程序框图 | 第63-65页 |
·上位机软件程序 | 第65-67页 |
·LabVIEW 简介 | 第65页 |
·上位机LabVIEW 程序 | 第65-67页 |
·本章总结 | 第67-68页 |
第五章 实验结果与分析 | 第68-97页 |
·传感器力特性标定系统输入—输出特性系数的标定实验 | 第68-84页 |
·传感器X 方向力特性标定系统输入—输出特性系数的标定 | 第69-74页 |
·传感器Y 方向力特性标定系统输入—输出特性系数的标定 | 第74-80页 |
·传感器Z 方向力特性标定系统输入—输出特性系数的标定 | 第80-84页 |
·悬臂梁弹性系数的标定实验 | 第84-87页 |
·传感器测杆位移特性系数的标定实验 | 第87-89页 |
·传感器力特性的标定结果 | 第89-90页 |
·微小力测量实验 | 第90-95页 |
·微小力测量的实验系统 | 第90-91页 |
·微小力测量的实验结果 | 第91-95页 |
·本章总结 | 第95-97页 |
第六章 总结与展望 | 第97-99页 |
参考文献 | 第99-102页 |
发表论文和参加科研情况说明 | 第102-103页 |
致谢 | 第103页 |