超微力测量方案的探索实验研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第1章 绪论	第8-15页
·课题背景及意义	第8-12页
·超微力测量存在的技术难题	第12-13页
·课题研究目的	第13-14页
·论文主要工作	第14-15页
第2章 超微力静电场测量方案设计	第15-21页
·静电场测量方案工作原理	第15-17页
·静电场测量方案结构设计	第17-21页
·静电场测量方案系统结构	第17-18页
·测量方案主要工作	第18-21页
第3章 电容传感结构设计	第21-33页
·电容传感结构设计要求	第21-29页
·电容传感结构的特点	第21-22页
·电容传感结构基本类型	第22-27页
·电容式传感结构设计要点	第27-28页
·测量系统对电容传感结构提出的要求	第28-29页
·电容传感结构设计方案	第29-33页
·整体设计结构	第29页
·设计具有的特点	第29-31页
·设计中采用的抗干扰措施	第31-33页
第4章 电容变化信号检测电路设计	第33-46页
·电容变化信号测量芯片选型分析	第33-40页
·基于AD7747 的检测电路设计	第40-43页
·整体电路	第40页
·数据通讯	第40-42页
·显示模块	第42-43页
·系统软件流程图	第43-44页
·检测电路功能测试	第44-46页
第5章 测量系统可行性验证实验	第46-66页
·系统实验装置	第46-47页
·系统实验	第47-65页
·测量电路输出零点校准实验	第47-49页
·系统稳定性测量实验	第49-57页
·系统重复性测量实验	第57-59页
·系统分辨力测量实验	第59-61页
·系统漂移测量实验	第61-62页
·系统线性度测量实验	第62-64页
·最大静摩擦力测量实验	第64-65页
·系统实验总结	第65-66页
第6章 总结与展望	第66-68页
参考文献	第68-72页
发表论文和参加科研情况说明	第72-73页
致谢	第73页