摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5页 |
1 绪论 | 第7-15页 |
1.1 课题来源及背景 | 第7-8页 |
1.2 原子迁移的试验研究 | 第8-10页 |
1.3 原子迁移的数值方法介绍 | 第10-13页 |
1.4 本文研究意义及内容 | 第13-15页 |
2 铜微互连线原子迁移模拟 | 第15-29页 |
2.1 原子迁移的有限元实现 | 第15-23页 |
2.2 互连线原子迁移的寿命分析 | 第23-28页 |
2.3 本章小结 | 第28-29页 |
3 铜微互连线原子迁移试验研究 | 第29-42页 |
3.1 样片设计及制备 | 第29-31页 |
3.2 测试方案 | 第31-33页 |
3.3 结果分析与讨论 | 第33-40页 |
3.4 本章小结 | 第40-42页 |
4 总结与展望 | 第42-44页 |
4.1 全文总结 | 第42-43页 |
4.2 研究展望 | 第43-44页 |
致谢 | 第44-45页 |
参考文献 | 第45-49页 |
附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第49-50页 |
附录2 应力梯度求解程序 | 第50-52页 |
附录3 加速测试实验数据 | 第52页 |