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铜微互连线的原子迁移失效研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5页
1 绪论第7-15页
    1.1 课题来源及背景第7-8页
    1.2 原子迁移的试验研究第8-10页
    1.3 原子迁移的数值方法介绍第10-13页
    1.4 本文研究意义及内容第13-15页
2 铜微互连线原子迁移模拟第15-29页
    2.1 原子迁移的有限元实现第15-23页
    2.2 互连线原子迁移的寿命分析第23-28页
    2.3 本章小结第28-29页
3 铜微互连线原子迁移试验研究第29-42页
    3.1 样片设计及制备第29-31页
    3.2 测试方案第31-33页
    3.3 结果分析与讨论第33-40页
    3.4 本章小结第40-42页
4 总结与展望第42-44页
    4.1 全文总结第42-43页
    4.2 研究展望第43-44页
致谢第44-45页
参考文献第45-49页
附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文第49-50页
附录2 应力梯度求解程序第50-52页
附录3 加速测试实验数据第52页

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