| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.2 国内外的研究现状 | 第11-13页 |
| 1.3 本论文的主要内容 | 第13-15页 |
| 第二章 热电光电能量收集技术与MEMS的基本理论 | 第15-23页 |
| 2.1 光电能量收集技术 | 第15-16页 |
| 2.1.1 光电能量收集原理 | 第15-16页 |
| 2.1.2 光电能量收集器的指标参数 | 第16页 |
| 2.2 热电能量收集技术 | 第16-20页 |
| 2.2.1 热电能量收集原理 | 第16-18页 |
| 2.2.2 热电能量收集器的指标参数 | 第18-20页 |
| 2.3 MEMS技术 | 第20-21页 |
| 2.4 MEMS制造技术 | 第21-22页 |
| 2.5 本章总结 | 第22-23页 |
| 第三章 热电-光电集成微传感器 | 第23-39页 |
| 3.1 热电-光电集成微传感器的设计和仿真 | 第23-27页 |
| 3.1.1 光电结构设计和仿真 | 第23-25页 |
| 3.1.2 热电结构设计和仿真 | 第25-27页 |
| 3.2 热电-光电集成微传感器的制作工艺和版图设计 | 第27-34页 |
| 3.2.1 光电结构工艺步骤及版图设计 | 第27-29页 |
| 3.2.2 热电结构工艺步骤及版图设计 | 第29-34页 |
| 3.3 热电-光电集成微传感器的系统分析及测试 | 第34-38页 |
| 3.3.1 热电-光电集成微传感器的系统分析 | 第34-35页 |
| 3.3.2 热电-光电集成微传感器的实验测试 | 第35-38页 |
| 3.4 本章总结 | 第38-39页 |
| 第四章 电导率测试结构 | 第39-47页 |
| 4.1 电导率测试结构测试原理 | 第39-40页 |
| 4.2 电导率测试结构设计 | 第40-41页 |
| 4.3 电导率测试结构有限元分析验证 | 第41-42页 |
| 4.4 电导率测试结构制作工艺和版图设计 | 第42-44页 |
| 4.5 电导率的实验测试 | 第44-45页 |
| 4.6 本章总结 | 第45-47页 |
| 第五章 塞贝克系数测试结构 | 第47-59页 |
| 5.1 塞贝克系数测试结构测试原理 | 第47-48页 |
| 5.2 塞贝克系数测试结构设计 | 第48-49页 |
| 5.3 塞贝克系数测试结构有限元分析验证 | 第49-54页 |
| 5.4 塞贝克系数测试结构制作工艺和版图设计 | 第54-55页 |
| 5.5 塞贝克系数的实验测试 | 第55-57页 |
| 5.6 本章总结 | 第57-59页 |
| 第六章 热导率测试结构 | 第59-75页 |
| 6.1 热导率测试结构的设计 | 第59-60页 |
| 6.2 热导率测试结构模型 | 第60-63页 |
| 6.2.1 测试结构中多晶硅测量臂的传热分析 | 第60-62页 |
| 6.2.2 参考结构中待测多晶硅部分传热分析 | 第62-63页 |
| 6.3 热导率测试结构有限元分析验证 | 第63-69页 |
| 6.4 热导率测试结构制作工艺以及版图设计 | 第69-71页 |
| 6.5 热导率测试结构实验测试 | 第71-73页 |
| 6.6 本章总结 | 第73-75页 |
| 第七章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 作者简介 | 第83页 |