低温蒸发源的研发
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 分子束外延技术 | 第11-14页 |
| 1.2.1 分子束外延技术概述 | 第11-13页 |
| 1.2.2 分子束外延技术的应用 | 第13-14页 |
| 1.3 分子束外延蒸发源研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.1 国外研究现状 | 第14页 |
| 1.3.2 国内研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3.3 发展趋势 | 第15页 |
| 1.4 课题研究意义及主要内容 | 第15-17页 |
| 1.4.1 研究意义 | 第15-16页 |
| 1.4.2 课题研究内容 | 第16-17页 |
| 本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 低温蒸发源总体方案研究 | 第18-24页 |
| 2.1 低温蒸发源工作原理 | 第18-20页 |
| 2.1.1 蒸发原理 | 第18-19页 |
| 2.1.2 冷却原理 | 第19-20页 |
| 2.2 低温蒸发源性能指标需求分析 | 第20-21页 |
| 2.3 低温蒸发源总体设计方案 | 第21-22页 |
| 2.4 低温蒸发源装置选材分析 | 第22-23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 低温蒸发源仿真设计 | 第24-31页 |
| 3.1 仿真软件介绍 | 第24页 |
| 3.2 初步几何模型的建立 | 第24-26页 |
| 3.3 仿真结果及分析 | 第26-30页 |
| 本章小结 | 第30-31页 |
| 第四章 低温蒸发源结构设计 | 第31-44页 |
| 4.1 蒸发装置 | 第31-34页 |
| 4.1.1 坩埚 | 第31-32页 |
| 4.1.2 遮挡板机构 | 第32页 |
| 4.1.3 旋转导入器 | 第32-34页 |
| 4.1.4 连杆 | 第34页 |
| 4.1.5 挡板 | 第34页 |
| 4.2 加热装置 | 第34-37页 |
| 4.2.1 加热灯丝 | 第35-36页 |
| 4.2.2 电极 | 第36-37页 |
| 4.3 冷却装置 | 第37-39页 |
| 4.3.1 冷却罩设计 | 第37-38页 |
| 4.3.2 冷却水管接头 | 第38页 |
| 4.3.3 冷却装置整体连接 | 第38-39页 |
| 4.4 测温装置 | 第39-40页 |
| 4.4.1 热电偶工作原理 | 第39页 |
| 4.4.2 测温装置结构设计 | 第39-40页 |
| 4.5 其他装置 | 第40-41页 |
| 4.6 低温蒸发源装配 | 第41-43页 |
| 4.6.1 装配准备 | 第41页 |
| 4.6.2 装配检查和检测 | 第41页 |
| 4.6.3 整体装配 | 第41-43页 |
| 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 低温蒸发源性能测试 | 第44-59页 |
| 5.1 真空实验装置的设计与搭建 | 第44-48页 |
| 5.1.1 真空系统 | 第44-46页 |
| 5.1.2 加热电源 | 第46-48页 |
| 5.1.3 冷却水循环系统 | 第48页 |
| 5.2 低温蒸发源基本性能测试 | 第48-51页 |
| 5.2.1 实验准备 | 第48-50页 |
| 5.2.2 实验装置示意图 | 第50-51页 |
| 5.2.3 实验测试过程 | 第51页 |
| 5.3 低温蒸发源测试结果分析 | 第51-58页 |
| 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-62页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第62-63页 |
| 致谢 | 第63页 |
