基于脉冲激光沉积敏感膜的光纤F-P氢气传感器的研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-21页 |
| 1.1 氢气传感器的研究背景和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 氢气传感器的发展现状 | 第9-15页 |
| 1.3 氢气敏感膜沉积技术研究 | 第15-19页 |
| 1.4 本课题研究的内容 | 第19-21页 |
| 第2章 光纤 F-P 氢气传感器 | 第21-30页 |
| 2.1 光纤 F-P 传感器 | 第21-27页 |
| 2.1.1 基本结构 | 第21页 |
| 2.1.2 传感原理 | 第21-24页 |
| 2.1.3 结构参数分析 | 第24-27页 |
| 2.1.3.1 压力敏感膜片尺寸及功能 | 第24-26页 |
| 2.1.3.2 传感器腔长及膜片反射率 | 第26-27页 |
| 2.2 光纤 F-P 氢气传感器 | 第27-29页 |
| 2.2.1 基本结构 | 第27-29页 |
| 2.2.2 传感原理 | 第29页 |
| 2.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 脉冲激光沉积氢气敏感膜 | 第30-49页 |
| 3.1 氢气敏感膜的选择 | 第30-34页 |
| 3.1.1 Pd-H 化合物 | 第30页 |
| 3.1.2 Pd-H 结合状态 | 第30-31页 |
| 3.1.3 Pd-H 化合物中 H 原子的位置 | 第31-32页 |
| 3.1.4 Pd 膜的氢敏特性 | 第32-33页 |
| 3.1.5 Pd/Ag 合金膜的优点 | 第33-34页 |
| 3.2 氢气敏感膜的制备与表征 | 第34-48页 |
| 3.2.1 PLD 镀膜主要参数及流程 | 第34-37页 |
| 3.2.2 薄膜表征分析实验 | 第37-48页 |
| 3.3 本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 氢气传感器制备与浓度测试试验 | 第49-57页 |
| 4.1 光纤 F-P 传感器的制备 | 第49-50页 |
| 4.2 氢气传感器的制备 | 第50-51页 |
| 4.3 氢气传感系统 | 第51-53页 |
| 4.4 氢气浓度测试实验 | 第53-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-58页 |
| 5.1 总结 | 第57页 |
| 5.2 展望 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第63页 |
