| 中文摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-23页 |
| 1.1 脉搏传感器研究现状 | 第8-21页 |
| 1.1.1 脉搏传感器国内研究现状 | 第8-13页 |
| 1.1.2 脉搏传感器国外研究 | 第13-21页 |
| 1.2 悬臂梁阵列式脉搏传感器研究目的和意义 | 第21-22页 |
| 1.2.1 研究目的 | 第21页 |
| 1.2.2 研究意义 | 第21-22页 |
| 1.3 论文主要研究内容 | 第22-23页 |
| 第2章 悬臂梁阵列式脉搏传感器基本结构与工作原理 | 第23-31页 |
| 2.1 悬臂梁阵列式脉搏传感器基本结构 | 第23-24页 |
| 2.2 悬臂梁阵列式脉搏传感器工作原理 | 第24-30页 |
| 2.2.1 弹性元件力学分析 | 第24-25页 |
| 2.2.2 压阻效应 | 第25-27页 |
| 2.2.3 悬臂梁阵列式脉搏传感器工作原理 | 第27-30页 |
| 2.3 本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 悬臂梁阵列式脉搏传感器仿真研究 | 第31-41页 |
| 3.1 悬臂梁阵列式脉搏传感器特性分析 | 第31-39页 |
| 3.1.1 仿真模型构建 | 第31-34页 |
| 3.1.2 静力特性分析 | 第34-37页 |
| 3.1.3 模态分析 | 第37-39页 |
| 3.1.4 谐响应特性分析 | 第39页 |
| 3.2 本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 悬臂梁阵列式脉搏传感器芯片设计、制作与封装 | 第41-48页 |
| 4.1 悬臂梁阵列式脉搏传感器芯片设计 | 第41-42页 |
| 4.2 悬臂梁阵列式脉搏传感器芯片工艺制作 | 第42-44页 |
| 4.3 悬臂梁阵列式脉搏传感器芯片封装 | 第44-47页 |
| 4.3.1 硼硅玻璃片制作 | 第44-45页 |
| 4.3.2 静电键合 | 第45-46页 |
| 4.3.3 芯片PCB封装 | 第46-47页 |
| 4.4 本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 实验结果与讨论 | 第48-67页 |
| 5.1 悬臂梁力传感器力敏特性分析 | 第48-51页 |
| 5.2 悬臂梁阵列式脉搏传感器的动态特性 | 第51-53页 |
| 5.3 悬臂梁阵列式脉搏传感器力敏特性 | 第53-56页 |
| 5.4 悬臂梁阵列式脉搏传感器静态特性 | 第56-62页 |
| 5.4.1 线性度 | 第56-58页 |
| 5.4.2 重复性 | 第58-59页 |
| 5.4.3 迟滞性 | 第59-61页 |
| 5.4.4 准确度 | 第61页 |
| 5.4.5 灵敏度 | 第61-62页 |
| 5.5 悬臂梁阵列式脉搏传感器信号放大电路 | 第62-66页 |
| 5.5.1 放大电路概述 | 第62-64页 |
| 5.5.2 放大电路测试 | 第64-66页 |
| 5.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 攻读学位期间发表论文 | 第75页 |
| 攻读学位期间科研项目 | 第75页 |