| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| Contents | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-19页 |
| ·课题研究背景 | 第13-15页 |
| ·半导体制造概述 | 第13-14页 |
| ·晶圆制造工艺 | 第14-15页 |
| ·国内外研究现状 | 第15-18页 |
| ·章节安排 | 第18-19页 |
| 第二章 ALD重入加工过程的Petri网建模 | 第19-29页 |
| ·系统与模型的概念 | 第19-20页 |
| ·系统 | 第19页 |
| ·模型 | 第19-20页 |
| ·Petri网的基本理论 | 第20-22页 |
| ·有限能力Petri网 | 第20-21页 |
| ·Petri网的特性 | 第21-22页 |
| ·重入加工系统的Petri网模型 | 第22-27页 |
| ·ALD重入加工流程模式 | 第22-23页 |
| ·机械手操作的Petri网模型 | 第23-24页 |
| ·ALD流程的Petri网模型 | 第24-26页 |
| ·操作时间模型 | 第26-27页 |
| ·死锁避免策略 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 ALD重入加工过程的调度分析 | 第29-41页 |
| ·引言 | 第29-30页 |
| ·ALD重入加工过程(1,2)~k调度分析 | 第30-40页 |
| ·重入次数k=2 | 第30-31页 |
| ·重入次数k=3 | 第31-34页 |
| ·重入次数k=4 | 第34-36页 |
| ·重入次数k=5 | 第36-40页 |
| ·实例 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 ALD重入加工过程的eM-Plant仿真建模 | 第41-57页 |
| ·计算机仿真 | 第41-42页 |
| ·系统仿真软件eM-Plant | 第42-43页 |
| ·加工流程分析 | 第43-44页 |
| ·仿真模型框架 | 第44-45页 |
| ·机械手控制原理 | 第45-54页 |
| ·机械手控制策略 | 第45-47页 |
| ·系统时间的模拟 | 第47-48页 |
| ·机械手操作触发过程 | 第48-49页 |
| ·晶圆进入PM控制程序 | 第49页 |
| ·晶圆离开PM控制程序 | 第49-54页 |
| ·实例 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 ALD重入加工生产管理系统开发 | 第57-67页 |
| ·概述 | 第57页 |
| ·系统设计 | 第57-60页 |
| ·设计目标 | 第57-58页 |
| ·系统业务流程分析 | 第58页 |
| ·开发及运行环境 | 第58-59页 |
| ·数据库设计 | 第59-60页 |
| ·功能模块设计 | 第60-64页 |
| ·登录模块设计 | 第60-62页 |
| ·输入窗体设计 | 第62-63页 |
| ·输出窗体设计 | 第63-64页 |
| ·实例演示 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 总结与展望 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 附录 | 第74-80页 |