| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-15页 |
| 1.1.1 静电驱动微传感器概述 | 第9-11页 |
| 1.1.2 结构吸合不稳定现象 | 第11-14页 |
| 1.1.3 时滞发展与应用 | 第14-15页 |
| 1.2 研究进展 | 第15-18页 |
| 1.2.1 MEMS的发展现状 | 第15-16页 |
| 1.2.2 MEMS的复杂动力学行为 | 第16-17页 |
| 1.2.3 时滞反馈控制方法 | 第17-18页 |
| 1.3 本文主要研究内容及意义 | 第18-19页 |
| 第2章 静电微传感器特性分析和基础理论 | 第19-27页 |
| 2.1 数值方法 | 第19-21页 |
| 2.1.1 判断运动稳定性手段 | 第19-20页 |
| 2.1.2 映射法 | 第20-21页 |
| 2.2 微传感器特性 | 第21-22页 |
| 2.3 力学基础理论 | 第22-26页 |
| 2.3.1 同(异)宿轨线 | 第22-23页 |
| 2.3.2 Melnikov函数法的应用 | 第23-26页 |
| 2.4 小结 | 第26-27页 |
| 第3章 静电微传感器振动系统及时滞位置反馈控制模型 | 第27-33页 |
| 3.1 一类静电微传感器系统动力学模型 | 第27-30页 |
| 3.2 时滞位置反馈的静电微结构系统的动力学建模 | 第30-32页 |
| 3.3 小结 | 第32-33页 |
| 第4章 静电微传感器振动系统的时滞反馈控制机理 | 第33-40页 |
| 4.1 系统的无扰动分析 | 第33-36页 |
| 4.2 时滞位置反馈控制参数和吸合不稳定的关系 | 第36-39页 |
| 4.3 小结 | 第39-40页 |
| 第5章 静电微传感器振动系统及时滞受控系统的数值仿真 | 第40-53页 |
| 5.1 静电微传感器振动系统的数值仿真步骤 | 第40-44页 |
| 5.2 静电微传感器振动系统的数值仿真 | 第44-51页 |
| 5.3 静电微传感器振动系统的数值仿真对比结论 | 第51-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 第6章 结论与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 结论 | 第53页 |
| 6.2 展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
| 攻读学位期间投稿的论文和专利情况 | 第62页 |