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非极性ZnO基薄膜制备及Na掺杂和ZnMgO/ZnO多量子阱研究

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 前言第12-16页
第二章 文献综述第16-48页
   ·ZnO的结构与性能第16-24页
     ·ZnO的晶体结构第16-17页
     ·ZnO的能带结构第17-19页
     ·ZnO的物理与化学性质第19-20页
     ·ZnO的光学性能第20-23页
     ·ZnO的电学性能第23-24页
   ·ZnO的缺陷与掺杂第24-30页
     ·ZnO的本征缺陷第24-25页
     ·ZnO的非故意掺杂第25页
     ·ZnO的p型掺杂第25-30页
   ·ZnO的合金化第30-34页
     ·ZnO的能带工程第30-31页
     ·ZnMgO合金第31-32页
     ·ZnCdO合金第32-34页
   ·ZnO基量子阱与超晶格第34-40页
     ·半导体超晶格与量子阱简介第34-35页
     ·ZnO基量子阱第35-40页
   ·非极性ZnO薄膜及相关研究进展第40-46页
     ·制备非极性ZnO薄膜的意义第40-42页
     ·非极性ZnO薄膜的研究现状第42-46页
   ·本文研究思路第46-48页
第三章 实验原理、生长方法和表征技术第48-56页
   ·脉冲激光沉积技术的原理与特点第48-51页
     ·脉冲激光沉积技术的特点第49页
     ·脉冲激光沉积技术的原理第49-51页
   ·脉冲激光沉积系统第51-53页
   ·实验方法第53-55页
     ·靶材的制备第53页
     ·衬底清洗第53-54页
     ·样品制备第54-55页
   ·性能表征第55-56页
第四章 非极性ZnO薄膜的生长及性能研究第56-72页
   ·在m面蓝宝石上制备m面ZnO薄膜第57-66页
     ·生长温度对m面ZnO薄膜的影响第57-62页
     ·沉积压强对m面ZnO薄膜的影响第62-66页
   ·在r面蓝宝石上制备a面ZnO薄膜第66-69页
     ·a面ZnO薄膜的结构第66-67页
     ·a面ZnO薄膜的形貌第67-68页
     ·a面ZnO薄膜的电学性能第68页
     ·a面ZnO薄膜的光学性能第68-69页
   ·本章小结第69-72页
第五章 Na掺杂非极性ZnO薄膜研究第72-86页
   ·Na掺杂非极性a面ZnO薄膜第73-82页
     ·Na含量对a面ZnO薄膜的影响第73-79页
     ·衬底温度对Na掺杂a面ZnO薄膜的影响第79-82页
     ·沉积压强对Na掺杂a面ZnO薄膜的影响第82页
   ·Na掺杂非极性m面ZnO薄膜第82-85页
     ·Na掺杂m面ZnO薄膜的结构第83页
     ·Na掺杂m面ZnO薄膜的表面形貌第83-84页
     ·Na掺杂m面ZnO薄膜的电学和光学性能第84-85页
   ·本章小结第85-86页
第六章 非极性a面ZnO基合金薄膜生长及性能研究第86-102页
   ·非极性a面ZnMgO薄膜的生长以及性能研究第86-93页
     ·生长温度对非极性a面ZnMgO合金薄膜的影响第86-91页
     ·沉积压强对非极性a面ZnMgO合金薄膜的影响第91-93页
   ·非极性a面ZnCdO薄膜生长和性能的影响第93-99页
     ·沉积压强对非极性a面ZnCdO合金薄膜中Cd含量的影响第94页
     ·非极性a面ZnCdO合金薄膜的晶体结构第94-96页
     ·非极性a面ZnCdO合金薄膜的表面形貌第96-97页
     ·非极性a面ZnCdO合金薄膜的化学态第97-98页
     ·非极性a面ZnCdO合金薄膜的光学性能第98-99页
   ·本章小结第99-102页
第七章 a面ZnMgO/ZnO多量子阱研究第102-124页
   ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱制备方法第103-104页
   ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱的结构第104-105页
   ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱的光学性能第105-115页
     ·非极性a面ZnMgO/ZnO单量子阱与多量子阱的光学性能第105-106页
     ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱中的量子限域效应第106-108页
     ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱中的激子束缚能第108-112页
     ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱中的激子局域化效应第112-114页
     ·非极性a面ZnMgO/ZnO多量子阱中的激子激活能第114-115页
   ·a面与c面ZnMgO/ZnO多量子阱比较第115-120页
     ·非极性a面与极性c面ZnMgO/ZnO多量子阱的结构第116页
     ·非极性a面与极性c面ZnMgO/ZnO多量子阱表面形貌第116-117页
     ·非极性a面与极性c面ZnMgO/ZnO多量子阱光学性能研究第117-120页
   ·非极性a面n-ZnO/MQWs/p-ZnO同质结第120-122页
   ·本章小结第122-124页
第八章 结论第124-128页
   ·全文总结第124-125页
   ·本文主要创新点第125页
   ·未来工作展望第125-128页
参考文献第128-146页
致谢第146-148页
个人简历第148-150页
攻读博士学位期间发表的论文和其他科研成果第150-151页

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