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硅恒流器件芯片的可制造性设计

摘要第1-9页
ABSTRACT第9-11页
引言第11-12页
第一章 绪论第12-17页
   ·硅恒流器件的发展与现状第12页
   ·硅恒流器件的应用特征第12-13页
   ·硅恒流器件在LED电路中的应用第13-14页
   ·硅恒流器件芯片可制造性设计的意义及必要性第14-15页
     ·硅恒流器件应用前景和开发的意义第14-15页
     ·“可制造设计”及其在半导体分立器件行业中应用的必要性第15页
   ·本论文的工作及内容安排第15-17页
第二章 硅恒流器件的工作原理第17-23页
   ·硅恒流器件的基本结构第17页
   ·硅恒流器件的工作原理第17-19页
     ·可变电阻区:0第18-19页
     ·恒流区:V_S第19页
     ·击穿区:V_(AK)>V_(BO)段第19页
   ·硅恒流器件的主要内部参数第19-23页
     ·起始电压V_S第19-20页
     ·恒流电流I_H第20页
     ·击穿电压V_(BO)第20-21页
     ·动态内阻r_H第21页
     ·温度系数α_T第21-23页
第三章 硅恒流器件结构参数的设计第23-26页
   ·硅恒流器件相关参数的设计第23-25页
     ·衬底和外延层的选择第23页
     ·外延层厚度的选择第23-24页
     ·沟道厚度、长度和宽度的设定第24-25页
   ·硅恒流器件参数的总结第25-26页
第四章 硅恒流器件制程设计及模拟方案第26-29页
     ·半导体恒流器件芯片的工艺流程第26-27页
   ·半导体恒流器件的模拟方案第27-29页
第五章 硅恒流器件工艺级设计的实现第29-34页
   ·硅恒流器件芯片工艺仿真卡命令文件的编写第29-32页
   ·使用SDE完成由Process到Device的接口过渡第32-34页
第六章 恒流管物理特性仿真的实现第34-41页
   ·物理特性仿真简介及流程第34-35页
   ·物理特性仿真卡命令文件第35-41页
第七章 硅恒流器件可制造性设计结果及分析第41-49页
   ·工艺制程仿真结果及分析第41-43页
   ·物理特性仿真结果及分析第43-49页
第八章 硅恒流器件关键参数的优化分析第49-54页
   ·硅恒流器件温度系数α_T的研究第49-51页
     ·关于器件温度系数α_T对比仿真第49-50页
     ·并联电阻法恒流补偿的讨论分析第50-51页
   ·关于器件动态内阻的对比仿真第51-54页
结束语第54-56页
参考文献第56-59页
致谢第59-60页
学位论文评阅及答辩情况表第60页

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