| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| TABLE OF CONTENTS | 第10-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-16页 |
| ·课题来源及意义 | 第13-14页 |
| ·课题来源 | 第13页 |
| ·课题研究意义 | 第13-14页 |
| ·本课题研究基础 | 第14页 |
| ·本论文的研究内容 | 第14-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 第二章 IC晶片检测技术分析 | 第16-25页 |
| ·IC晶片检测方法及其研究现状 | 第16-22页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM)检测 | 第17-19页 |
| ·自动X光检测(AXI) | 第19-20页 |
| ·自动光学检测(AOI) | 第20-22页 |
| ·深亚微米级IC晶片AOI技术分析 | 第22-24页 |
| ·AOI系统介绍 | 第22-23页 |
| ·IC晶片AOI技术难点分析 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于FPGA的图像采集及预处理系统设计 | 第25-37页 |
| ·Xilinx公司Spartan-3系列芯片在图像处理中的应用优势 | 第25-27页 |
| ·图像采集系统硬件电路设计 | 第27-31页 |
| ·图像采集模块设计 | 第27-30页 |
| ·视频信号预处理 | 第30页 |
| ·PCI接口数据传输 | 第30-31页 |
| ·基于FPGA的图像预处理方法介绍 | 第31-36页 |
| ·卷积运算设计 | 第32-33页 |
| ·中值滤波理论分析 | 第33-34页 |
| ·中值滤波硬件实现 | 第34-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 IC晶片显微图像的拼接技术 | 第37-56页 |
| ·显微图像拼接技术的概述 | 第37-41页 |
| ·研究背景分析 | 第37页 |
| ·图像配准方法 | 第37-39页 |
| ·图像几何变换 | 第39-40页 |
| ·图像融合技术 | 第40-41页 |
| ·IC晶片显微图像拼接点搜索技术 | 第41-51页 |
| ·影响IC晶片显微图像拼接的因素 | 第41-44页 |
| ·显微工作台运动标定技术 | 第44-46页 |
| ·特征点提取 | 第46-47页 |
| ·IC晶片显微图像拼接点的搜索 | 第47-51页 |
| ·显微图像拼接的误差分析及消除方法 | 第51-53页 |
| ·局部误差及消除 | 第51页 |
| ·累积误差及消除 | 第51-53页 |
| ·IC晶片拼接缝融合技术 | 第53-55页 |
| ·拼接缝的搜索 | 第53-54页 |
| ·改进加权融合算法 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 基于子模板类型的缺陷检测算法 | 第56-81页 |
| ·针对PCB\IC缺陷视觉检测方法的研究 | 第56-59页 |
| ·参考比较法 | 第57页 |
| ·非参考比较法 | 第57页 |
| ·混合算法 | 第57-58页 |
| ·本文缺陷检测算法 | 第58-59页 |
| ·IC晶片标准予模板特征提取及训练 | 第59-70页 |
| ·图像分割技术 | 第59-60页 |
| ·数学形态学基本运算 | 第60-61页 |
| ·BP神经网络识别技术 | 第61-62页 |
| ·IC晶片图像子模板分类 | 第62-63页 |
| ·子模板特征提取 | 第63-66页 |
| ·训练网络设计 | 第66-67页 |
| ·子模板分割和识别 | 第67-70页 |
| ·子模板缺陷检测实现 | 第70-76页 |
| ·子模板形状结构特征提取 | 第70-72页 |
| ·深亚微米级IC晶片图像缺陷类型分析 | 第72-73页 |
| ·水平或垂直单线条检测 | 第73-74页 |
| ·水平双线条检测 | 第74-75页 |
| ·拐角的检测 | 第75-76页 |
| ·IC晶片特征尺寸精确测量 | 第76-80页 |
| ·Hough变换直线拟合 | 第77-78页 |
| ·平行线Hough变换线宽测量 | 第78-79页 |
| ·关键尺寸测量的实现 | 第79-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 结论 | 第81-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 附录 | 第90-92页 |