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脉冲激光沉积制备ZnO薄膜及其光电性质研究

中文摘要第1-7页
英文摘要第7-10页
第一章 引言第10-27页
   ·ZnO 研究的历史和现状第10-13页
   ·ZnO 的结构和特性第13-16页
   ·ZnO 的主要应用第16-18页
   ·ZnO 的缺陷第18-19页
   ·论文选题的依据第19-21页
 参考文献第21-27页
第二章 ZnO 薄膜的制备与表征第27-47页
   ·ZnO 薄膜的生长方法第27-29页
   ·脉冲激光沉积(PLD)制备ZnO 薄膜原理及特点第29-35页
   ·退火设备简介第35-36页
   ·薄膜的主要表征方法第36-46页
 参考文献第46-47页
第三章 温度对在蓝宝石衬底上用PLD 方法制备ZnO 薄膜的结构和光学特性的影响第47-62页
   ·实验方法第47-48页
   ·实验结果和讨论第48-59页
   ·小结第59-60页
 参考文献第60-62页
第四章 脉冲激光沉积法在不同的氧氛围压力中制备ZnO 薄膜特性研究第62-79页
   ·实验方法第62-63页
   ·实验结果和讨论第63-75页
   ·小结第75-77页
 参考文献第77-79页
第五章 在N_2中退火对ZnO 薄膜的结构和发光特性的影响第79-93页
   ·实验方法第79-80页
   ·实验结果和讨论第80-90页
   ·本章小结第90-91页
 参考文献第91-93页
第六章 退火氛围对退火后ZnO 薄膜的结构和光致发光影响研究第93-107页
   ·实验方法第94页
   ·实验结果和讨论第94-104页
   ·本章小结第104-105页
 参考文献第105-107页
第七章 不同的ZnO 靶对薄膜结构和光学特性的影响第107-118页
   ·实验方法第107-108页
   ·实验结果和讨论第108-115页
   ·本章小结第115-117页
 参考文献第117-118页
第八章 结论第118-122页
   ·主要结果第118-120页
   ·主要创新点第120-122页
致谢第122-123页
攻读博士期间发表的论文第123-124页

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