| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题的研究意义及来源 | 第9-10页 |
| ·国内外研究状况 | 第10-19页 |
| ·驱动方式 | 第11-14页 |
| ·机构形式 | 第14-16页 |
| ·系统动态设计 | 第16-17页 |
| ·动力学建模与控制方法研究 | 第17-19页 |
| ·本文主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第二章 XY 定位平台设计 | 第20-35页 |
| ·引言 | 第20页 |
| ·总体结构设计 | 第20-22页 |
| ·音圈电机驱动模型 | 第22-24页 |
| ·弹性解耦机构设计 | 第24-32页 |
| ·刚体动力学分析及弹簧刚度预估 | 第25-28页 |
| ·弹性体动力学分析及弹簧刚度预估 | 第28-32页 |
| ·样机开发 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 XY定位平台有限元分析 | 第35-62页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·ANSYS 有限元建模 | 第35-38页 |
| ·有限元分析 | 第38-56页 |
| ·静态特性分析 | 第38-52页 |
| ·模态分析 | 第52-56页 |
| ·弹性铰链的有限元分析 | 第56-61页 |
| ·ANSYS 有限元建模 | 第56页 |
| ·静态特性分析 | 第56-60页 |
| ·模态分析 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第四章 XY定位平台动力学建模 | 第62-82页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·Y 轴向平台动力学建模 | 第62-73页 |
| ·Y 轴向驱动电机动态方程 | 第63-65页 |
| ·Y 轴向平台启动时位移响应 | 第65-69页 |
| ·Y 轴向平台启动时速度响应 | 第69-73页 |
| ·X 轴向平台动力学建模 | 第73-78页 |
| ·X 轴向驱动电机动态方程 | 第74-75页 |
| ·X 轴向平台启动时位移响应 | 第75-76页 |
| ·X 轴向平台启动时速度响应 | 第76-78页 |
| ·模拟仿真 | 第78-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第五章 XY 定位平台机电耦合控制系统设计 | 第82-101页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·直线音圈电机数学模型 | 第82-87页 |
| ·动态方程 | 第82-83页 |
| ·传递函数 | 第83-87页 |
| ·直线音圈电机速度控制模型 | 第87-90页 |
| ·速度控制模型 | 第87-88页 |
| ·控制器参数设计与控制效果 | 第88-90页 |
| ·X 轴向平台机电耦合系统动态模型建立 | 第90-98页 |
| ·移动机械系统动态模型 | 第90-92页 |
| ·机电耦合系统传递函数 | 第92-97页 |
| ·控制系统仿真 | 第97-98页 |
| ·控制系统硬件配置 | 第98-99页 |
| ·本章小结 | 第99-101页 |
| 第六章 XY 定位平台性能试验 | 第101-112页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·试验平台建立 | 第101-102页 |
| ·性能指标测试 | 第102-108页 |
| ·静态特性测试 | 第108-109页 |
| ·模态试验 | 第109-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 第七章 全文结论 | 第112-116页 |
| ·结论 | 第112-114页 |
| ·工作展望 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-123页 |
| 作者在攻读博士学位期间参加的科研项目和完成的学术论文 | 第123-125页 |
| 致谢 | 第125页 |