| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第12-18页 |
| 1.2.1 pH检测方法研究现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 固态环境pH检测研究现状 | 第14页 |
| 1.2.3 pH传感器热处理制备工艺研究现状 | 第14-15页 |
| 1.2.4 pH传感器结构、表面积及性能研究现状 | 第15-18页 |
| 1.3 主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第二章 平板式全固态pH传感器理论分析及设计制备 | 第19-34页 |
| 2.1 pH传感器检测理论分析 | 第19-23页 |
| 2.2 金属电极热处理及其对电极性能影响理论分析 | 第23-25页 |
| 2.3 电极表面积对电极电化学性能影响理论分析 | 第25-27页 |
| 2.4 pH传感器结构设计 | 第27页 |
| 2.5 pH传感器制备 | 第27-33页 |
| 2.5.1 pH传感器制备材料及仪器设备 | 第27-29页 |
| 2.5.2 pH传感器制备过程 | 第29-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 热处理退火温度对pH传感器响应特性影响试验研究 | 第34-48页 |
| 3.1 不同热处理温度下pH传感器复合电极物理表征结果分析 | 第34-42页 |
| 3.1.1 磁控溅射电极薄膜厚度分析 | 第34-36页 |
| 3.1.2 电极薄膜表面形貌分析 | 第36-38页 |
| 3.1.3 电极薄膜表面能谱分析 | 第38-41页 |
| 3.1.4 电极薄膜与基底界面结合力分析 | 第41-42页 |
| 3.2 不同热处理温度下pH传感器响应特性分析 | 第42-47页 |
| 3.2.1 不同热处理退火温度下pH传感器灵敏度分析 | 第43-45页 |
| 3.2.2 不同热处理温度下pH传感器响应时间分析 | 第45页 |
| 3.2.3 不同热处理温度下pH传感器稳定性分析 | 第45-47页 |
| 3.3 本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 电极表面积对pH传感器响应特性影响试验研究 | 第48-56页 |
| 4.1 不同电极表面积对pH传感器物理表征结果分析 | 第48-51页 |
| 4.1.1 pH传感器复合电极薄膜厚度分析 | 第48-50页 |
| 4.1.2 复合电极薄膜表面形貌表征及能谱分析 | 第50-51页 |
| 4.2 不同电极表面积对pH传感器输出特性影响结果分析 | 第51-55页 |
| 4.2.1 不同电极表面积下pH传感器灵敏度分析 | 第51-52页 |
| 4.2.2 不同电极表面积下pH传感器响应时间分析 | 第52-53页 |
| 4.2.3 不同电极表面积下pH传感器稳定性分析 | 第53-55页 |
| 4.3 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 平板式全固态pH传感器温湿度双补偿方法及应用研究 | 第56-64页 |
| 5.1 pH传感器温度补偿试验研究 | 第56-59页 |
| 5.2 pH传感器含水量补偿试验研究 | 第59-62页 |
| 5.3 pH传感器应用试验 | 第62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 6.1 总结 | 第64-65页 |
| 6.2 创新点 | 第65页 |
| 6.3 展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间学术成果 | 第71页 |
