基于飞秒激光加工的微结构光纤光栅增敏特性的研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题研究的目的及意义 | 第10-12页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第12-15页 |
| 1.2.1 飞秒激光的发展现状 | 第12-14页 |
| 1.2.2 光纤光栅传感器增敏的研究现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容及创新点 | 第15-17页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.3.2 创新点 | 第16-17页 |
| 第2章 光纤光栅传感器及其微结构增敏原理 | 第17-26页 |
| 2.1 光纤光栅传感器基本原理 | 第17-18页 |
| 2.2 光纤光栅基本特性 | 第18-20页 |
| 2.2.1 光纤光栅温度传感特性 | 第18-19页 |
| 2.2.2 光纤光栅应变传感特性 | 第19页 |
| 2.2.3 光纤光栅同时受温度和应变影响特性 | 第19-20页 |
| 2.3 光纤光栅的应用 | 第20-21页 |
| 2.4 微结构光纤光栅温度传感器增敏原理 | 第21-22页 |
| 2.5 微结构光纤光栅磁场传感器增敏原理 | 第22-25页 |
| 2.5.1 磁致伸缩材料性能 | 第23-24页 |
| 2.5.2 磁场传感器基本原理 | 第24-25页 |
| 2.5.3 微结构磁场传感器的增敏原理 | 第25页 |
| 2.6 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 微结构传感探头制备 | 第26-67页 |
| 3.1 微结构的制备及其分析 | 第26-42页 |
| 3.1.1 微结构的形貌 | 第26-27页 |
| 3.1.2 光纤夹具的设计 | 第27-28页 |
| 3.1.3 微结构的加工 | 第28-30页 |
| 3.1.4 微结构增敏理论分析 | 第30-36页 |
| 3.1.5 微结构的有限元分析 | 第36-42页 |
| 3.2 飞秒激光加工基础研究 | 第42-55页 |
| 3.2.1 飞秒激光加工系统 | 第42-45页 |
| 3.2.2 飞秒激光加工的基本原理 | 第45-46页 |
| 3.2.3 飞秒激光加工的影响因素 | 第46-47页 |
| 3.2.4 飞秒激光基础实验的研究 | 第47-55页 |
| 3.3 HF酸腐蚀的基本研究 | 第55-62页 |
| 3.3.1 腐蚀时间对加工的影响 | 第56-60页 |
| 3.3.2 HF酸浓度对加工的影响 | 第60-62页 |
| 3.4 镀膜 | 第62-65页 |
| 3.4.1 磁控溅射 | 第62-63页 |
| 3.4.2 镀膜实验 | 第63-65页 |
| 3.5 本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 新型微结构光纤光栅传感器实验分析 | 第67-87页 |
| 4.1 实验方法 | 第67-69页 |
| 4.2 实验装置 | 第69-72页 |
| 4.3 实验结果分析及改进 | 第72-86页 |
| 4.3.1 几种结构漂移量对比 | 第72-75页 |
| 4.3.2 直槽结构漂移量对比 | 第75-80页 |
| 4.3.3 D型结构漂移量对比 | 第80-82页 |
| 4.3.4 双D型结构漂移量对比 | 第82-84页 |
| 4.3.5 双曲线型结构漂移量对比 | 第84-85页 |
| 4.3.6 总体分析与改进 | 第85-86页 |
| 4.4 本章小结 | 第86-87页 |
| 第5章 总结与展望 | 第87-89页 |
| 5.1 全文总结 | 第87-88页 |
| 5.2 展望 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89-90页 |
| 参考文献 | 第90-95页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第95页 |
