| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 1.1 课题来源及研究目的和意义 | 第13-18页 |
| 1.1.1 课题来源 | 第13页 |
| 1.1.2 研究背景及意义 | 第13-18页 |
| 1.2 晶圆微孔加工发展及研究现状 | 第18-22页 |
| 1.2.1 晶圆微孔加工方式 | 第18-21页 |
| 1.2.2 激光微孔加工研究现状 | 第21-22页 |
| 1.3 激光阵列加工研究现状 | 第22-24页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第24-26页 |
| 1.5 本章小结 | 第26-27页 |
| 第二章 皮秒激光加工原理及其参数选择 | 第27-36页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 激光与材料相互作用过程 | 第27-28页 |
| 2.3 皮秒激光与非金属材料相互作用原理—面向非金属材料的皮秒激光加工原理 | 第28-30页 |
| 2.3.1 电离原理 | 第28-30页 |
| 2.3.2 材料的去除方式 | 第30页 |
| 2.4 皮秒激光加工设备的参数选择与模块介绍 | 第30-35页 |
| 2.4.1 激光器的选择及重要参数 | 第30-32页 |
| 2.4.2 激光微孔加工光路系统 | 第32-34页 |
| 2.4.3 激光打孔系统 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 基于皮秒激光的微孔加工影响因素分析 | 第36-50页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 常用的贴合加工方法 | 第36-37页 |
| 3.3 悬空加工方法 | 第37-45页 |
| 3.3.1 悬空加工原理及实现方案 | 第37-38页 |
| 3.3.2 悬空加工方法实验及结果 | 第38-45页 |
| 3.4 激光参数对微孔加工质量的影响规律 | 第45-48页 |
| 3.4.1 激光脉冲能量和频率对微孔出入口质量的影响 | 第45-47页 |
| 3.4.2 加工参数对微孔出入口质量的影响 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 基于响应面法的激光加工工艺参数优化 | 第50-69页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 响应面法的基本原理 | 第50-57页 |
| 4.2.1 响应面法的试验设计 | 第51-54页 |
| 4.2.2 响应面模型的选取与求解 | 第54-56页 |
| 4.2.3 响应面模型的误差分析 | 第56-57页 |
| 4.3 激光微孔加工的响应面模型构造 | 第57-64页 |
| 4.3.1 微孔加工试验设计 | 第57-60页 |
| 4.3.2 响应面模型的构造 | 第60-64页 |
| 4.4 优化结果及实验验证 | 第64-68页 |
| 4.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第五章 基于激光分束器的阵列孔加工方法研究 | 第69-85页 |
| 5.1 引言 | 第69页 |
| 5.2 激光分光方法及原理 | 第69-74页 |
| 5.3 微孔阵列加工的分光方案 | 第74-77页 |
| 5.3.1 分光技术要求 | 第74页 |
| 5.3.2 微孔阵列加工的分光方法 | 第74-77页 |
| 5.4 分光光路搭建及实验结果 | 第77-84页 |
| 5.4.1 分光光路的搭建 | 第77-79页 |
| 5.4.2 分束光路实验验证 | 第79-84页 |
| 5.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 结论与展望 | 第85-87页 |
| 结论 | 第85-86页 |
| 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-94页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96页 |