| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第15-19页 |
| 1.1 PDK 设计套件与集成电路设计的关系 | 第15-16页 |
| 1.2 课题研究意义 | 第16-17页 |
| 1.3 论文的主要内容与章节安排 | 第17-19页 |
| 第二章 PDK 的开发方式及设计难点 | 第19-25页 |
| 2.1 PDK 的开发方式 | 第19-23页 |
| 2.1.1 基于汇编程序的 PDK 开发方式 | 第19-21页 |
| 2.1.2 基于开发工具（PAS）实现优化的 PDK 开发方式 | 第21-23页 |
| 2.2 PDK 开发的设计难点 | 第23-24页 |
| 2.3 本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 0.13UM 1.2V/3.3V RF 制程下 PDK 的开发 | 第25-61页 |
| 3.1 全局参数(Global Parameter)的建立 | 第25-26页 |
| 3.2 技术文件(Technology File)的开发 | 第26-29页 |
| 3.2.1 设计层次及映射关系的定义 | 第27-28页 |
| 3.2.2 参数化通过孔的定义 | 第28-29页 |
| 3.3 RF 电感的开发 | 第29-38页 |
| 3.3.1 RF 电感 CDF 参数的实现 | 第29-31页 |
| 3.3.2 RF 电感前端(Symbol)的实现 | 第31-32页 |
| 3.3.3 RF 电感结构算法的确定 | 第32-33页 |
| 3.3.4 基于镜像复制法的 RF 电感后端(Pcell)的实现 | 第33-38页 |
| 3.4 RF 变容二极管的开发 | 第38-43页 |
| 3.4.1 RF 变容二极管 CDF 参数的实现 | 第38-39页 |
| 3.4.2 RF 变容二极管结构算法的确定 | 第39-40页 |
| 3.4.3 基于整体复制法的 RF 变容二极管后端(Pcell)的实现 | 第40-43页 |
| 3.5 RF 电阻的开发 | 第43-50页 |
| 3.5.1 RF 电阻 CDF 参数的实现 | 第43-46页 |
| 3.5.2 RF 电阻结构算法的确定 | 第46-47页 |
| 3.5.3 基于层次归纳法的 RF 电阻后端(Pcell)的实现 | 第47-50页 |
| 3.6 RF MIM 电容的开发 | 第50-53页 |
| 3.6.1 RF MIM 电容 CDF 参数的实现 | 第50-52页 |
| 3.6.2 RF MIM 电容后端(Pcell)的实现 | 第52-53页 |
| 3.7 RF PDK 的后期验证 | 第53-60页 |
| 3.7.1 PDK 的信息验证 | 第53-55页 |
| 3.7.2 PDK 的 Pcell 结构验证 | 第55-60页 |
| 3.8 本章小结 | 第60-61页 |
| 第四章 PDK 自动化平台的设计与搭建 | 第61-83页 |
| 4.1 辅助功能的实现与集成 | 第61-76页 |
| 4.1.1 Rectangle(矩形)绘制隔离环功能的实现 | 第62-64页 |
| 4.1.2 Path 线绘制隔离环功能的实现 | 第64-68页 |
| 4.1.3 简化层次显示窗口(LSW)功能的实现 | 第68-70页 |
| 4.1.4 仿真格式显示功能的实现 | 第70-73页 |
| 4.1.5 PDK 参数自动更新功能的实现 | 第73-75页 |
| 4.1.6 辅助功能的集成 | 第75-76页 |
| 4.2 PDK 与辅助功能的集成 | 第76-77页 |
| 4.3 PDK 自动化安装以及调用的实现 | 第77-81页 |
| 4.4 本章小结 | 第81-83页 |
| 第五章 全文总结及后续工作 | 第83-85页 |
| 5.1 全文总结及创新点 | 第83-84页 |
| 5.2 后续研究工作 | 第84-85页 |
| 全文参考文献 | 第85-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第89页 |
