高频等离子沉积工艺控制系统优化研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 研究的背景及意义 | 第11-15页 |
| 1.2 PSOD工艺控制系统应用现状 | 第15-16页 |
| 1.3 本课题主要研究内容和章节安排 | 第16-17页 |
| 1.4 本章小结 | 第17-19页 |
| 第二章 PSOD工艺控制系统硬件研究 | 第19-33页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 PSOD工艺设备介绍 | 第19-24页 |
| 2.3 在线测量单元升级 | 第24-29页 |
| 2.3.1 在线温度测量系统升级 | 第24-27页 |
| 2.3.2 在线沉积量测量系统升级 | 第27-29页 |
| 2.4 关键系统单元升级 | 第29-31页 |
| 2.4.1 PLC单元升级 | 第30页 |
| 2.4.2 伺服系统单元升级 | 第30-31页 |
| 2.5 本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 PSOD工艺控制策略研究 | 第33-41页 |
| 3.1 引言 | 第33页 |
| 3.2 PSOD工艺数学模型分析 | 第33-36页 |
| 3.3 沉积温度控制策略的研究 | 第36-39页 |
| 3.3.1 沉积温度控制系统硬件系统介绍 | 第36-37页 |
| 3.3.2 沉积温度控制系统控制策略研究 | 第37-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 PSOD工艺控制系统优化的设计与实现 | 第41-63页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 控制系统的设计与组网实现 | 第41-49页 |
| 4.2.1 控制结构设计 | 第41-42页 |
| 4.2.2 控制功能设计 | 第42-47页 |
| 4.2.3 控制系统组网连接实现 | 第47-49页 |
| 4.3 控制软件程序设计与实现 | 第49-61页 |
| 4.3.1 PLC控制程序设计与实现 | 第49-51页 |
| 4.3.2 人机交互程序设计与实现 | 第51-56页 |
| 4.3.3 服务器程序设计与实现 | 第56-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 结论与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 本论文研究结论 | 第63页 |
| 5.2 工业控制的未来发展趋势 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 | 第69-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 研究成果及发表的学术论文 | 第79-81页 |
| 作者和导师简介 | 第81-85页 |
| 附件 | 第85-86页 |
