| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第8-10页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第10-17页 |
| 1.3.1 飞秒激光双光子聚合加工技术研究的国内外现状 | 第10-14页 |
| 1.3.2 飞秒激光加工系统研究的国内外现状 | 第14-17页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 飞秒激光双光子聚合大面积快速结构化加工平台 | 第19-34页 |
| 2.1 大面积快速结构化平台 | 第19-20页 |
| 2.2 激光发射与实时监测系统 | 第20-21页 |
| 2.3 三维压电驱动微动台 | 第21-24页 |
| 2.3.1 微动台参数及工作原理 | 第21-22页 |
| 2.3.2 压电陶瓷致动器原理 | 第22-24页 |
| 2.4 二维X-Y振镜系统 | 第24-30页 |
| 2.4.1 二维X-Y振镜 | 第24-25页 |
| 2.4.2 激光标刻 | 第25-30页 |
| 2.5 激光快门 | 第30-33页 |
| 2.6 本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 飞秒激光双光子聚合加工系统的联动控制 | 第34-53页 |
| 3.1 基于Aerotech的A3200控制系统 | 第34-35页 |
| 3.2 LabVIEW开发平台 | 第35-37页 |
| 3.2.1 LabVIEW的优势与实用性 | 第35-36页 |
| 3.2.2 LabVIEW开发平台与A3200系统通讯构建 | 第36-37页 |
| 3.3 飞秒激光双光子聚合加工软件系统控制研发 | 第37-45页 |
| 3.3.1 A3200系统与宏动定位系统的联动控制 | 第37-39页 |
| 3.3.2 A3200系统与三维微动平台的联动控制 | 第39-41页 |
| 3.3.3 A3200系统与二维X-Y振镜系统的联动控制 | 第41-44页 |
| 3.3.4 A3200系统与激光快门的联动控制 | 第44-45页 |
| 3.4 飞秒激光双光子聚合加工软件系统的整体控制 | 第45-48页 |
| 3.5 功能性模块 | 第48-52页 |
| 3.6 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 飞秒激光双光子聚合加工系统建模及控制策略 | 第53-68页 |
| 4.1 飞秒激光双光子聚合加工三维宏-微定位系统动力学建模 | 第53-59页 |
| 4.1.1 三维宏动位移平台单输入-双输出动力学建模 | 第54-56页 |
| 4.1.2 三维微动位移平台单输入-双输出动力学建模 | 第56-58页 |
| 4.1.3 三维宏-微定位系统双输入-双输出动力学建模 | 第58-59页 |
| 4.2 三维宏-微定位系统的滑模变结构控制 | 第59-65页 |
| 4.2.1 滑模变结构控制原理 | 第59-61页 |
| 4.2.2 控制策略方法-模糊逼近原理 | 第61-62页 |
| 4.2.3 模糊自适应滑模控制器的设计 | 第62-65页 |
| 4.3 三维宏-微定位系统模糊自适应滑模控制仿真 | 第65-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 第5章 飞秒激光双光子聚合大面积结构化加工实验分析 | 第68-79页 |
| 5.1 三维微纳快速结构化加工数据转换处理 | 第68-72页 |
| 5.1.1 二维X-Y振镜加工数据转换 | 第68-69页 |
| 5.1.2 三维微动定位平台加工数据转换 | 第69-72页 |
| 5.2 三维微纳快速结构化加工工艺流程 | 第72-74页 |
| 5.2.1 实验所用的光刻胶 | 第72页 |
| 5.2.2 双光子聚合加工过程 | 第72-74页 |
| 5.3 三维微纳快速结构化加工实验分析 | 第74-77页 |
| 5.4 本章小结 | 第77-79页 |
| 第6章 结论 | 第79-81页 |
| 6.1 总结 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-88页 |
| 作者简介 | 第88页 |
| 攻读硕士学位期间研究成果 | 第88页 |
