LGS声表面波传感器温度应变特性研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-21页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 国内外研究现状和发展趋势 | 第12-19页 |
| 1.3 论文的选题依据 | 第19-20页 |
| 1.4 论文的研究内容及框架 | 第20-21页 |
| 第二章 声表面波传感器理论 | 第21-35页 |
| 2.1 声表面波理论 | 第21-23页 |
| 2.2 声表面波器件的原理 | 第23-32页 |
| 2.2.1 声表面波器件种类及原理 | 第23-25页 |
| 2.2.2 压电衬底材料 | 第25-27页 |
| 2.2.3 叉指换能器 | 第27-31页 |
| 2.2.4 反射栅 | 第31-32页 |
| 2.3 SAW传感器应变传感原理 | 第32-33页 |
| 2.4 SAW传感器温度传感原理 | 第33-34页 |
| 2.5 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 SAW传感器的设计与制作 | 第35-45页 |
| 3.1 声表面波传感器的设计 | 第35-36页 |
| 3.2 LGS声表面波传感器的有限元仿真 | 第36-39页 |
| 3.3 LGS声表面波传感器的制备 | 第39-44页 |
| 3.3.1 压电基片前期预处理 | 第39-40页 |
| 3.3.2 光刻谐振器图形 | 第40-41页 |
| 3.3.3 生长电极薄膜 | 第41-43页 |
| 3.3.4 剥离电极 | 第43页 |
| 3.3.5 快速退火处理 | 第43-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 第四章 LGS声表面波传感器温度特性研究 | 第45-52页 |
| 4.1 测试系统 | 第45-47页 |
| 4.1.1 矢量网络分析仪 | 第45-46页 |
| 4.1.2 温度测试平台 | 第46-47页 |
| 4.2 LGS声表面波传感器的温度特性研究 | 第47-50页 |
| 4.2.1 常温下LGS声表面波传感器的性能研究 | 第47-48页 |
| 4.2.2 不同温度下LGS传感器的温度性能测试 | 第48-50页 |
| 4.2.3 LGS声表面波传感器温度重复性测试 | 第50页 |
| 4.3 本章小结 | 第50-52页 |
| 第五章 LGS声表面波传感器应变特性研究 | 第52-70页 |
| 5.1 应变测试平台 | 第52-57页 |
| 5.1.1 应变测试原理 | 第52页 |
| 5.1.2 应变测试平台 | 第52-54页 |
| 5.1.3 传感器的粘接 | 第54-55页 |
| 5.1.4 数据采集 | 第55-57页 |
| 5.2 LGS传感器应变测试 | 第57-62页 |
| 5.2.1 常温下的LGS传感器应变特性测试 | 第57-59页 |
| 5.2.2 LGS传感器温度应变测试 | 第59-62页 |
| 5.3 不同角度的LGS应变响应测试 | 第62-66页 |
| 5.3.1 室温下不同角度的LGS应变响应测试 | 第62-65页 |
| 5.3.2 不同角度的LGS传感器温度应变响应 | 第65-66页 |
| 5.4 LGS传感器的应变误差分析 | 第66-69页 |
| 5.4.1 应变线性误差分析 | 第66-68页 |
| 5.4.2 应变滞后误差 | 第68-69页 |
| 5.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第六章 结论与展望 | 第70-72页 |
| 6.1 结论 | 第70-71页 |
| 6.2 展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-77页 |
| 攻读硕士学位期间取得的成果 | 第77-78页 |
