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基于MOS结构光电效应传感器的研究与应用

摘要第1-8页
Abstract第8-13页
第一章 绪论第13-20页
   ·光电效应概述第13-14页
     ·光电效应第13页
     ·外光电效应第13-14页
     ·内光电效应第14页
   ·内光电效应的分类第14-16页
     ·光生伏特效应第14-15页
     ·光电导效应第15-16页
   ·侧向光伏效应研究现状第16-17页
   ·双极性电阻效应研究现状第17-19页
   ·本论文的主要研究内容第19-20页
第二章 样品的制备与效应的测量第20-33页
   ·清洗衬底第20-21页
   ·衬底镀膜第21-23页
     ·镀膜材料选择第21-22页
     ·镀膜方法第22-23页
   ·薄膜的形貌分析第23-28页
     ·原子力显微镜形貌分析第23-24页
     ·扫描电子显微镜形貌分析第24-25页
     ·透射电子显微镜形貌分析第25-26页
     ·形貌分析结果第26-28页
   ·光电效应检测系统第28-33页
     ·光电效应检测系统的设计初衷第28-29页
     ·光电效应检测系统的原理第29-31页
     ·光电效应检测系统的开发第31-33页
第三章 样品中的侧向光伏效应第33-41页
   ·位置灵敏探测器的参数与指标第33页
   ·样品的具体检测条件第33-34页
   ·侧向光伏效应实验数据分析第34-38页
     ·在X轴方向上分析第36-37页
     ·在Y轴方向上分析第37-38页
   ·侧向光伏效应的理论分析第38-41页
第四章 样品中的双极性电阻效应第41-48页
   ·样品的具体检测条件第41页
   ·双极性电阻效应实验数据分析第41-44页
     ·在X轴方向上分析第43-44页
     ·在平行于 Y 轴的方向上分析第44页
   ·双极性电阻效应的理论分析第44-48页
第五章 新型光电效应在传感器中的应用第48-60页
   ·侧向光伏效应的应用第48-58页
     ·位置灵敏探测器第48-50页
     ·高精度测距第50-51页
     ·自准仪测角度第51页
     ·汽车雷达避障第51-52页
     ·汽轮发电机组轴承相对标高测试第52-53页
     ·光学转轴编码器第53-54页
     ·二维位置灵敏探测器测量小角度第54-55页
     ·汽车悬架稳定度主动控制第55页
     ·近感引信目标探测第55-56页
     ·深孔直线度检测第56页
     ·二维位置灵敏探测器测量两平面的平行度第56-57页
     ·位置灵敏探测器的其他应用第57-58页
   ·双极性电阻效应的应用第58-60页
     ·光控变阻器第58-59页
     ·光控二极管第59页
     ·超大密集信息存储器第59-60页
第六章 总结与展望第60-62页
   ·主要工作总结第60页
     ·制备金属氧化物 - 氧化物 - 半导体结构样品第60页
     ·开发光电效应检测系统第60页
     ·研究样品中的光电效应第60页
     ·新型光电效应在传感器中的应用第60页
   ·本论文的创新点第60-61页
   ·工作展望第61-62页
参考文献第62-66页
攻读硕士学位期间发表的学术论文及取得的相关科研成果第66-67页
致谢第67-68页

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