晶圆传输机器人末端执行器设计与关键技术研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·课题研究背景 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-16页 |
| ·晶圆传输机器人本体研究现状 | 第12-14页 |
| ·晶圆传输机器人关键技术研究现状 | 第14-16页 |
| ·本文主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 晶圆传输机器人末端执行器的设计与分析 | 第18-30页 |
| ·引言 | 第18-19页 |
| ·晶圆传输机器人机械结构 | 第19-21页 |
| ·晶圆机器人末端执行器与晶圆的接触分析 | 第21-26页 |
| ·晶圆参数 | 第21-22页 |
| ·表面支撑接触时的晶圆变形分析 | 第22-23页 |
| ·边缘支撑接触式的晶圆变形分析 | 第23-25页 |
| ·晶圆传输方式的确定 | 第25-26页 |
| ·晶圆机器人末端执行器设计 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 晶圆传输机器人动力学模型分析 | 第30-40页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·动力学模型 | 第30-33页 |
| ·振动模型 | 第33-36页 |
| ·机器人模型 | 第33-35页 |
| ·振动等效模型 | 第35-36页 |
| ·模型仿真验证 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-40页 |
| 第4章 晶圆传输机器人运动学标定 | 第40-58页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·运动学模型 | 第40-44页 |
| ·运动误差因素分析及误差模型 | 第44-48页 |
| ·机器人运动学标定 | 第48-53页 |
| ·标定原理 | 第48-51页 |
| ·运动学标定仿真计算 | 第51-53页 |
| ·实验测试 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 晶圆传输机器人与预对准机位姿识别方案设计 | 第58-64页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·预对准系统工作原理 | 第58-60页 |
| ·机器人与预对准机相对位置识别 | 第60-63页 |
| ·相对位置识别 | 第60-62页 |
| ·相对姿态识别 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 第6章 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 致谢 | 第70-72页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第72-74页 |
| 作者简介 | 第74页 |
