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制备条件对氮化镓/硅纳米孔柱阵列电致发光特性的调制

摘要第1-6页
Abstract第6-11页
1 引言第11-20页
   ·GaN的基本性质第11-13页
   ·Si基GaN材料与器件第13-16页
     ·Si基GaN材料第14-15页
     ·Si基GaN器件第15-16页
     ·Si基GaN器件面临的问题第16页
   ·GaNSi-NPA的电致发光研究第16-18页
     ·Si-NPA的制备和性质第16-18页
     ·GaN/Si-NPA的电致发光第18页
   ·选题依据和研究内容第18-20页
2 GaN/S-NPA的形貌和结构调控第20-35页
   ·GaN/Si-NPA的制备第20-33页
     ·升温过程对GaN表面形貌和结构的调控第25-28页
     ·氨气压强对GaN表面形貌和结构的调控第28-31页
     ·退火对GaN的表面形貌和结构的调控第31-33页
   ·本章小结第33-35页
3 制备条件对GaN/Si-NPA电致发光特性的调制第35-60页
   ·积分光反射特性第35-37页
     ·升温过程对GaN/Si-NPA积分光反射谱的调制第35-36页
     ·氨气压强对GaN/Si-NPA积分光反射谱的调制第36-37页
   ·光致发光特性第37-41页
     ·升温过程对GaN/Si-NPA光致发光性质的调制第37-38页
     ·氨气压强对GaN/Si-NPA光致发光性质的调制第38-40页
     ·退火对GaN/Si-NPA光致发光性质的调制第40-41页
   ·I-V特性第41-50页
     ·电极的制备第42-43页
     ·GaN/Si-NPA的I-V特性第43-50页
   ·电致发光特性第50-57页
     ·升温过程对GaN/Si-NPA电致发光特性的调制第51-52页
     ·氨气压强对GaN/Si-NPA电致发光性质的调制第52-57页
   ·本章小结第57-60页
4 结论和展望第60-63页
参考文献第63-70页
致谢第70页

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