基于机械—化学方法的自组装加工技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题背景 | 第8-9页 |
| ·基于分子自组装的纳米制造技术 | 第9-12页 |
| ·机械去除与自组装加工纳米结构的研究现状 | 第12-15页 |
| ·STM纳米刻蚀 | 第12页 |
| ·AFM纳米刻蚀 | 第12-13页 |
| ·导电AFM纳米刻蚀术 | 第13-14页 |
| ·其它扫描探针刻蚀术 | 第14-15页 |
| ·课题来源及研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 反应机理分析与系统建立 | 第16-22页 |
| ·反应机理分析 | 第16-18页 |
| ·氢终止的硅表面 | 第16-17页 |
| ·功能化修饰硅表面 | 第17-18页 |
| ·系统的搭建 | 第18-20页 |
| ·三维微动工作台 | 第18-19页 |
| ·基于AFM微探针刻划的自组装加工技术 | 第19页 |
| ·基于金刚石刀具切削的自组装加工技术 | 第19-20页 |
| ·本章小结 | 第20-22页 |
| 第3章 自组装加工技术研究 | 第22-29页 |
| ·实验器材 | 第22-23页 |
| ·实验基片 | 第22页 |
| ·实验药品试剂 | 第22页 |
| ·实验设备和表征设备 | 第22-23页 |
| ·实验方法 | 第23-25页 |
| ·预处理-氢终止硅表面的获得 | 第23-24页 |
| ·自组装膜的制备 | 第24-25页 |
| ·对自组装分子膜的检测 | 第25-28页 |
| ·利用XPS对自组装分子膜的检测 | 第25-27页 |
| ·利用拉曼光谱对自组装分子膜的检测 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第4章 自组装结构的纳米机械性能检测 | 第29-46页 |
| ·利用原子力显微镜检测纳米机械性能 | 第29-32页 |
| ·利用接触模式检测纳米摩擦性能 | 第30-31页 |
| ·利用力曲线检测粘着力 | 第31页 |
| ·利用相位图象检测纳米粘附性能 | 第31-32页 |
| ·利用AFM对传统加热方法制备的自组装膜的检测 | 第32-37页 |
| ·组装前后表面形貌的检测 | 第32-33页 |
| ·自组装膜的摩擦力分析 | 第33-35页 |
| ·利用力曲线检测自组装膜的粘着力 | 第35-37页 |
| ·基于AFM微探针刻划制备的自组装结构的检测 | 第37-42页 |
| ·利用摩擦图像检测自组装结构的纳米摩擦性能 | 第37-39页 |
| ·利用力曲线检测自组装结构的粘着力 | 第39-40页 |
| ·利用相位图像检测自组装结构的纳米粘附性能 | 第40-42页 |
| ·基于金刚石刀具切削制备的自组装结构的分析 | 第42-45页 |
| ·利用摩擦图像检测自组装结构的纳米摩擦性能 | 第42-43页 |
| ·利用力曲线检测自组装结构的粘着力 | 第43-44页 |
| ·利用相位图像检测自组装结构的纳米粘附性能 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 结论 | 第46-47页 |
| 参考文献 | 第47-51页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第51-52页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第52页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书 | 第52页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理 | 第52-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
