功率SIT、SITH的制造特点
| 第一章 引言 | 第1-11页 |
| 第二章 静电感应器件作用理论 | 第11-24页 |
| ·SIT的结构 | 第11-13页 |
| ·SIT的I-V特性 | 第13-15页 |
| ·SIT的电流传输机制 | 第15-17页 |
| ·SIT的作用理论 | 第17-21页 |
| ·阻断态和小电流分析 | 第18-20页 |
| ·中、大电流下的空间电荷效应 | 第20-21页 |
| ·SITH的作用理论 | 第21-24页 |
| ·正向导通态 | 第22页 |
| ·正向阻断态 | 第22-23页 |
| ·负阻转折态 | 第23-24页 |
| 第三章 重要参数的选取 | 第24-30页 |
| ·优良SIT的I-V特性 | 第24-25页 |
| ·结构参数 | 第25-28页 |
| ·材料参数 | 第28-30页 |
| 第四章 版图设计 | 第30-38页 |
| ·设计规划 | 第30页 |
| ·沟道单元数目的确定 | 第30-31页 |
| ·版图布局 | 第31-38页 |
| 第五章 工艺设计 | 第38-47页 |
| ·微腐蚀化学抛光 | 第38-39页 |
| ·一次氧化 | 第39-40页 |
| ·栅区扩硼 | 第40-42页 |
| ·染磷 | 第42-43页 |
| ·外延 | 第43-47页 |
| 第六章 槽、台刻蚀 | 第47-57页 |
| ·刻蚀工艺 | 第47-50页 |
| ·槽刻蚀对器件的影响 | 第50-53页 |
| ·台刻蚀的影响 | 第53-57页 |
| 第七章 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
