硅片预对准系统的研制
| 独创性说明 | 第1-4页 |
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| ·论文的选题背景及来源 | 第10-11页 |
| ·硅片传输系统概述 | 第11-13页 |
| ·硅片传输系统的分类 | 第11-12页 |
| ·硅片传输系统的现状及其发展 | 第12-13页 |
| ·硅片预对准系统概述 | 第13页 |
| ·国内外硅片预对准系统的研究与发展现状 | 第13-22页 |
| ·国外硅片预对准系统的研究及其发展现状 | 第13-22页 |
| ·国内硅片预对准系统的研究及其发展现状 | 第22页 |
| ·国内外硅片预对准系统的发展趋势 | 第22页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2 硅片预对准系统的总体方案设计 | 第24-30页 |
| ·硅片预对准系统的总体设计方案 | 第24-25页 |
| ·硅片预对准系统的预对准原理 | 第25-29页 |
| ·硅片预对准系统的技术指标 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 硅片预对准系统机械本体设计 | 第30-40页 |
| ·硅片预对准系统机械本体设计方案 | 第30-31页 |
| ·水平对心单元 | 第31-33页 |
| ·承片台单元 | 第33-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 硅片预对准系统驱动与气动系统设计 | 第40-53页 |
| ·驱动系统设计方案 | 第40-43页 |
| ·步进电机 | 第40-41页 |
| ·直线步进电机 | 第41-42页 |
| ·步进电机驱动技术 | 第42-43页 |
| ·硅片预对准系统采用的驱动系统方案 | 第43页 |
| ·驱动系统部件选型计算 | 第43-49页 |
| ·水平对心单元驱动系统部件选型计算 | 第43-46页 |
| ·承片台单元驱动系统部件选型计算 | 第46-49页 |
| ·气动系统设计方案及其工作原理 | 第49-50页 |
| ·气动系统选型计算 | 第50-52页 |
| ·真空发生器选型计算 | 第50-51页 |
| ·电磁阀选型 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 5 硅片预对准系统视觉系统设计 | 第53-59页 |
| ·硅片预对准系统视觉系统设计方案 | 第53-54页 |
| ·基于机器视觉的图像边缘检测技术 | 第53页 |
| ·视觉系统设计方案 | 第53-54页 |
| ·硅片预对准系统视觉系统的硬件组成 | 第54-57页 |
| ·光源 | 第54-55页 |
| ·光学透镜 | 第55-56页 |
| ·TCD线阵图像传感器 | 第56-57页 |
| ·硅片预对准系统视觉系统工作原理 | 第57页 |
| ·圆拟合算法的分析 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 硅片预对准系统的控制系统设计 | 第59-70页 |
| ·硅片预对准系统控制系统设计方案 | 第59-62页 |
| ·运动控制系统 | 第59-60页 |
| ·硅片预对准系统控制系统国内外现状 | 第60-62页 |
| ·硅片预对准系统运动控制系统设计 | 第62-67页 |
| ·硅片预对准系统运动控制系统设计方案 | 第62页 |
| ·MPC07运动控制卡 | 第62-64页 |
| ·运动控制系统硬件组成框图 | 第64-65页 |
| ·运动控制系统软件开发 | 第65-67页 |
| ·硅片预对准系统视觉处理系统设计 | 第67-69页 |
| ·硅片预对准系统视觉处理系统设计方案 | 第67-68页 |
| ·硅片预对准系统视觉处理系统设计 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 7 误差分析 | 第70-75页 |
| ·机械加工误差 | 第70页 |
| ·驱动及传动系统误差 | 第70-71页 |
| ·气动系统误差 | 第71页 |
| ·视觉系统误差 | 第71-74页 |
| ·硅片预对准系统中心定位和缺口(或切边)定位误差 | 第74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 附录1 硅片预对准系统实物照片 | 第80-81页 |
| 附录2 国家发明专利申请书 | 第81-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文及申报专利情况 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第84页 |
