| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| ·微纳米科学技术研究的目的与发展方向 | 第11-13页 |
| ·微位移测量国内外研究进展 | 第13-14页 |
| ·压电陶瓷驱动器的国内外研究现状 | 第14-17页 |
| ·压电陶瓷驱动器的工作特性 | 第15-17页 |
| ·微弱信号处理相关研究现状 | 第17-18页 |
| ·选题背景和章节安排 | 第18-22页 |
| ·选题背景及意义 | 第18-20页 |
| ·章节安排 | 第20-22页 |
| 第二章 基于柔性铰链放大的纳米位移传感器及其误差理论分析 | 第22-33页 |
| ·面向原子力显微镜（AFM）纳米位移测量传感器的设计要求 | 第22-23页 |
| ·纳米位移测量传感器的结构大小设计要求 | 第22页 |
| ·纳米位移测量传感器的特性参数设计要求 | 第22-23页 |
| ·基于柔性铰链的纳米位移机械放大 | 第23-27页 |
| ·柔性铰链机械放大原理 | 第23-25页 |
| ·纳米位移传感器机械结构设计原理 | 第25页 |
| ·第三代纳米位移传感器的改进结构 | 第25-27页 |
| ·纳米位移传感器应变片选择和加工工艺要求 | 第27-29页 |
| ·应变片的选择 | 第27-29页 |
| ·纳米位移传感器加工要求 | 第29页 |
| ·纳米位移传感器测量纳米位移的误差分析 | 第29-30页 |
| ·纳米位移传感器测量纳米位移的误差减小方法 | 第30-31页 |
| ·纳米位移信息获取上的误差减小 | 第30-31页 |
| ·纳米位移信息获取后的数据误差减小 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第三章 基于小波变换和 FIR 的信号处理研究 | 第33-44页 |
| ·纳米位移信号的特征 | 第33-36页 |
| ·纳米位移信号的幅域内特性 | 第33页 |
| ·纳米位移信号的频域内特性 | 第33-34页 |
| ·纳米位移信号的功率谱特性 | 第34-35页 |
| ·纳米位移信号的噪声分析 | 第35-36页 |
| ·基于离散小波变换的纳米位移数字信号处理 | 第36-40页 |
| ·多分辨率分析对信号的滤波原理 | 第37页 |
| ·基于Matlab 仿真的前向线性预测小波变换去噪分析 | 第37-40页 |
| ·基于FIR 数字滤波的纳米位移数字信号处理 | 第40-43页 |
| ·FIR 数字滤波的结构和滤波原理 | 第41-42页 |
| ·窗函数法设计FIR 滤波器 | 第42-43页 |
| ·基于Matlab 仿真的纳米位移信号的FIR 数字滤波特性分析 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于 Labview 和 DSP2812 的信号采集嵌入式系统设计 | 第44-54页 |
| ·前向微弱纳米位移信号电路设计 | 第44-48页 |
| ·前向调零电路设计 | 第44-45页 |
| ·前向放大电路的设计 | 第45-47页 |
| ·前向模拟滤波电路的选择与设计 | 第47-48页 |
| ·基于Labview 的纳米位移信号信息获取系统 | 第48-50页 |
| ·基于MP416 的纳米位移信息获取设计 | 第48-49页 |
| ·基于Labview 系统软件设计和数据处理程序设计 | 第49-50页 |
| ·基于DSP2812 的实时嵌入式系统设计 | 第50-51页 |
| ·基于DSP2812 的信号采集电路设计 | 第51页 |
| ·CCS 和Matlab 交叉编译的DSP 采集系统软件设计 | 第51-52页 |
| ·系统抗噪能力提高的方法研究 | 第52-53页 |
| ·工作环境 | 第52页 |
| ·电路抗电磁干扰设计 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第五章 传感器特性测试研究结果 | 第54-66页 |
| ·测试平台装置的搭建 | 第54-56页 |
| ·六维力标定平台测试装置 | 第54页 |
| ·六维力标定平台和传感器安装装置设计 | 第54-55页 |
| ·PI 标定平台位移输入测试装置 | 第55页 |
| ·PI 标定平台和传感器安装装置设计 | 第55-56页 |
| ·传感器的静态特性指标测试结果及分析 | 第56-60页 |
| ·传感器的力学平台静态测试结果及分析 | 第57页 |
| ·传感器的PI 平台静态位移测试结果及分析 | 第57-60页 |
| ·传感器的动态特性指标测试结果及分析 | 第60-62页 |
| ·传感器的力学平台动态特性测试 | 第61-62页 |
| ·传感器的信号处理数据分析 | 第62-65页 |
| ·数据处理的稳定性 | 第62-63页 |
| ·数据处理的线性度（R2恒定） | 第63-64页 |
| ·数据处理传感器的分辨率 | 第64页 |
| ·传感器的重复性 | 第64-65页 |
| ·数据处理的非线性误差分析 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第六章 工作总结与展望 | 第66-69页 |
| ·工作总结 | 第66-67页 |
| ·后续项目研究展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 | 第73-74页 |
| 1. 基于DSP2812 的信号采集和处理研究系统 | 第73-74页 |
| 硕士期间的主要工作及成果 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
