| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-15页 |
| ·研究背景和意义 | 第9-11页 |
| ·研究进展 | 第11-13页 |
| ·国外研究进展 | 第11页 |
| ·国内研究进展 | 第11-13页 |
| ·研究目标和主要研究内容 | 第13-14页 |
| ·本章小结 | 第14-15页 |
| 第二章 厚膜电容式微位移传感器的设计原理和制作工艺 | 第15-28页 |
| ·厚膜电容式传感器的设计原理 | 第15-21页 |
| ·电容式传感器的设计理论 | 第15-16页 |
| ·平行板式电容传感器的设计 | 第16-21页 |
| ·厚膜电容式传感器的结构设计与原理分析 | 第21-23页 |
| ·厚膜电容芯片的结构设计 | 第21-22页 |
| ·厚膜电容芯片空气介质腔间隙大小的选择 | 第22-23页 |
| ·厚膜电容式传感器的制作工艺 | 第23-27页 |
| ·厚膜电容芯片的制备工艺 | 第24-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 电容传感器小信号测试系统设计与实现 | 第28-42页 |
| ·电容小信号的测试方法 | 第28-32页 |
| ·测试系统组成及原理 | 第32-34页 |
| ·气源 | 第33页 |
| ·CAV414 测量电容原理 | 第33-34页 |
| ·测试系统的设计 | 第34-40页 |
| ·测试系统硬件设计 | 第34-38页 |
| ·测试系统软件设计 | 第38-40页 |
| ·厚膜电容式微位移传感器样机 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 厚膜电容传感器及处理电路性能测试 | 第42-53页 |
| ·传感器静态测试参数 | 第42-44页 |
| ·厚膜电容芯片及其信号处理电路的性能测试 | 第44-51页 |
| ·厚膜电容芯片的标定及数据处理 | 第45-47页 |
| ·厚膜电容传感器信号处理电路的标定及数据处理 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第五章 厚膜电容传感器及处理电路的误差与干扰的探讨 | 第53-63页 |
| ·厚膜电容芯片的非线性误差 | 第53-57页 |
| ·温度引起的非线性误差及其解决方案 | 第53-54页 |
| ·边缘效应引起的非线性误差及其解决方案 | 第54页 |
| ·挠性形变引起的非线性误差及其解决方案 | 第54-57页 |
| ·信号处理电路的误差与干扰分析 | 第57-61页 |
| ·电磁干扰及其解决方案 | 第57-60页 |
| ·地线干扰及其解决方案 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 第六章 结束语 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-67页 |
| 在读期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |