| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 符号对照表 | 第11-12页 |
| 缩略语对照表 | 第12-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-21页 |
| 1.1 微加速度计研究背景及意义 | 第15-16页 |
| 1.2 微加速度计发展现状 | 第16-17页 |
| 1.3 微加速度计发展趋势 | 第17-18页 |
| 1.4 论文主要内容和章节安排 | 第18-21页 |
| 第二章 电容式MEMS加速度计工作原理分析 | 第21-35页 |
| 2.1 机械电容结构及检测原理 | 第21-24页 |
| 2.2 电荷电压转换器 | 第24-26页 |
| 2.3 Sigma Delta调制器原理 | 第26-33页 |
| 2.3.1 过采样及量化噪声分析 | 第26-29页 |
| 2.3.2 噪声整形技术 | 第29-32页 |
| 2.3.3 Sigma Delta调制结构 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第三章 XDAS957系统级研究及噪声分析 | 第35-43页 |
| 3.1 XDAS957系统级设计 | 第35-36页 |
| 3.1.1 芯片主要特性 | 第35页 |
| 3.1.2 芯片引脚功能介绍 | 第35-36页 |
| 3.2 XDAS957架构设计 | 第36-38页 |
| 3.2.1 芯片系统框图及功能介绍 | 第36-38页 |
| 3.2.2 芯片电气特性要求 | 第38页 |
| 3.3 系统噪声分析 | 第38-42页 |
| 3.3.1 机械噪声 | 第39页 |
| 3.3.2 电路噪声 | 第39-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 XDAS957子模块电路设计及仿真 | 第43-71页 |
| 4.1 基于Verilog-A的压控电容模型 | 第43-44页 |
| 4.2 带隙基准电路设计及仿真 | 第44-53页 |
| 4.2.1 基准电流源电路设计计仿真 | 第44-49页 |
| 4.2.2 基准电压源电路设计及仿真 | 第49-53页 |
| 4.3 参考电压缓冲器电路设计及仿真 | 第53-54页 |
| 4.4 非交叠时钟电路设计及仿真 | 第54-56页 |
| 4.5 电荷电压转换器电路设计及仿真 | 第56-65页 |
| 4.6 Sigma Delta调制器电路设计及仿真 | 第65-69页 |
| 4.7 本章小结 | 第69-71页 |
| 第五章 芯片的整体仿真及版图设计 | 第71-85页 |
| 5.1 芯片的整仿验证 | 第71-78页 |
| 5.2 版图设计注意事项 | 第78-83页 |
| 5.2.1 器件版图匹配性设计 | 第79-81页 |
| 5.2.2 寄生效应抑制设计 | 第81-83页 |
| 5.3 芯片的版图布局 | 第83-84页 |
| 5.4 本章小结 | 第84-85页 |
| 第六章 总结与展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91-93页 |
| 作者简介 | 第93-95页 |