| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第9-15页 |
| 1.1 课题来源及研究背景 | 第9页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第9-14页 |
| 1.2.1 光刻机伺服控制技术的发展现状 | 第9-11页 |
| 1.2.2 同步控制技术的发展现状 | 第11-12页 |
| 1.2.3 分数阶 PID 控制的发展现状 | 第12-13页 |
| 1.2.4 宏微控制策略的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 掩模台系统的功能介绍与结构分析 | 第15-22页 |
| 2.1 引言 | 第15页 |
| 2.2 步进式扫描光刻机结构及掩模台功能介绍 | 第15-16页 |
| 2.3 掩模台结构分析 | 第16-19页 |
| 2.3.1 掩模台整体结构介绍 | 第16-17页 |
| 2.3.2 掩模台宏动台结构分析 | 第17-18页 |
| 2.3.3 掩模台微动台结构分析 | 第18-19页 |
| 2.4 掩模台系统指标需求分析 | 第19-21页 |
| 2.5 小结 | 第21-22页 |
| 第3章 宏动台的多电机同步控制研究 | 第22-50页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 建立永磁同步直线电机数学模型 | 第22-24页 |
| 3.3 基于交叉耦合同步的 PID 控制 | 第24-33页 |
| 3.3.1 经典同步控制策略 | 第24-25页 |
| 3.3.2 采用交叉耦合同步的 PID 控制仿真 | 第25-29页 |
| 3.3.3 掩模台宏动台的交叉耦合同步控制实验 | 第29-33页 |
| 3.4 采用分数阶PI ~λ D~μ的同步控制仿真研究 | 第33-46页 |
| 3.4.1 分数阶PI~λ D~μ的概念 | 第33-34页 |
| 3.4.2 基于改进 Oustaloup 算法的分数阶算子的 Simulink 封装设计 | 第34-37页 |
| 3.4.3 PI~λ D~μ控制器参数对控制性能的作用分析 | 第37-42页 |
| 3.4.4 永磁同步直线电机的分数阶PDu鲁棒控制器设计 | 第42-45页 |
| 3.4.5 采用交叉耦合同步的分数阶PI~λ D~μ控制仿真 | 第45-46页 |
| 3.5 采用分数阶PI~λ D~μ控制器的宏动台同步控制实验 | 第46-49页 |
| 3.6 小结 | 第49-50页 |
| 第4章 微动台的运动解耦及音圈电机位置控制 | 第50-64页 |
| 4.1 引言 | 第50页 |
| 4.2 掩模台微动台六自由度运动解耦计算 | 第50-58页 |
| 4.2.1 微动台调平控制中 Z 向电机的解耦计算 | 第50-53页 |
| 4.2.2 微动台平面运动控制中 X/Y 向电机的解耦计算 | 第53-58页 |
| 4.3 基于扩张状态观测器的音圈电机位置控制研究 | 第58-61页 |
| 4.3.1 音圈电机及其模型 | 第58-59页 |
| 4.3.2 扩张状态观测器的概念及基本结构 | 第59-60页 |
| 4.3.3 微动音圈电机伺服系统的扩张状态观测器设计 | 第60-61页 |
| 4.4 引入扩张状态观测器的音圈电机分数阶PI~λ D~μ控制研究 | 第61-63页 |
| 4.5 小结 | 第63-64页 |
| 第5章 光刻机掩模台的宏微控制方法研究 | 第64-75页 |
| 5.1 引言 | 第64页 |
| 5.2 典型的宏微控制策略 | 第64-65页 |
| 5.2.1 主从结构 | 第64页 |
| 5.2.2 PQ 结构 | 第64-65页 |
| 5.2.3 解耦结构 | 第65页 |
| 5.3 主从结构的宏微控制对象模型的建立与分析选择 | 第65-70页 |
| 5.3.1 微动跟随宏动的控制对象建模与分析 | 第65-67页 |
| 5.3.2 宏动跟随微动的控制对象建模与分析 | 第67-69页 |
| 5.3.3 两种宏微控制方法的对比选择 | 第69-70页 |
| 5.4 宏动跟随微动的宏微控制系统结构设计与仿真分析 | 第70-74页 |
| 5.4.1 宏动跟随微动的控制系统总体设计 | 第70-71页 |
| 5.4.2 模型耦合部分对系统控制性能的影响分析 | 第71-72页 |
| 5.4.3 引入扩张状态观测器的宏微控制研究 | 第72-74页 |
| 5.5 小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
