| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 引言 | 第10-11页 |
| 1.2 课题背景 | 第11-17页 |
| 1.2.1 半导体生产现状 | 第11-12页 |
| 1.2.2 国内外研究现状 | 第12页 |
| 1.2.3 半导体制造业设备综合效率的需求 | 第12-13页 |
| 1.2.4 制造业设备综合效率技术的发展 | 第13-17页 |
| 1.3 本文的研究内容和意义 | 第17-19页 |
| 1.4 论文结构 | 第19-20页 |
| 第二章 设备综合效率系统需求和功能分析 | 第20-33页 |
| 2.1 半导体制造业特点 | 第20-23页 |
| 2.1.1 半导体制造业发展历史 | 第20页 |
| 2.1.2 半导体制造业流程 | 第20-22页 |
| 2.1.3 半导体制造业特点 | 第22-23页 |
| 2.2 半导体制造业计算机集成系统 | 第23-27页 |
| 2.2.1 计算机集成制造系统介绍 | 第23-24页 |
| 2.2.2 中芯成都厂制造集成系统构成 | 第24-26页 |
| 2.2.3 中芯成都厂系统改善方向 | 第26-27页 |
| 2.3 设备综合效率系统功能需求分析 | 第27-32页 |
| 2.3.1 支持实时监控的设备运行维护管理框架 | 第27-28页 |
| 2.3.2 设备信息的实时采集和监控管理 | 第28-30页 |
| 2.3.3 设备效率系统的数据计算模型分析 | 第30-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 设备综合效率系统架构及相关技术分析 | 第33-44页 |
| 3.1 设备综合效率系统架构 | 第33-34页 |
| 3.1.1 与设备交互的设备综合效率客户端 | 第34页 |
| 3.1.2 设备综合效率功能服务器 | 第34页 |
| 3.1.3 访问报表的WEB客户端 | 第34页 |
| 3.2. 设备综合效率系统功能模块设计 | 第34-36页 |
| 3.2.1 数据采集 | 第35页 |
| 3.2.2 数据存储和处理 | 第35-36页 |
| 3.2.3 设备综合效率系统报表计算 | 第36页 |
| 3.3 软件实现理论和相关技术研究 | 第36-43页 |
| 3.3.1 软件实现理论 | 第36-37页 |
| 3.3.2 B/S(Browser/Server)结构 | 第37-38页 |
| 3.3.3 通信协议SECS | 第38-39页 |
| 3.3.4 文件传输FTP | 第39-41页 |
| 3.3.5 开发程序Java | 第41页 |
| 3.3.6 程序开发Unix Shell | 第41-42页 |
| 3.3.7 数据库连接PL/SQL | 第42-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 设备综合效率系统的设计和实现 | 第44-71页 |
| 4.1 设备综合效率系统的结构 | 第44-51页 |
| 4.1.1 设备综合效率的网络拓扑图 | 第44-45页 |
| 4.1.2 设备综合效率OEE系统的硬件实现 | 第45-46页 |
| 4.1.3 设备综合效率系统的计算模型建立 | 第46-48页 |
| 4.1.4 设备状态的定义 | 第48-49页 |
| 4.1.5 设备综合效率系统数据源 | 第49-51页 |
| 4.2 设备综合效率系统的具体实现 | 第51-61页 |
| 4.2.1 总体数据流图 | 第51页 |
| 4.2.2 机台数据的获取过程 | 第51-57页 |
| 4.2.3 数据解析过程中主要的表结构设计 | 第57-61页 |
| 4.3 OEE系统的具体应用 | 第61-70页 |
| 4.3.1 OEE客户机 | 第61-64页 |
| 4.3.2 OEE报表及应用 | 第64-65页 |
| 4.3.3 OEE的失效分析 | 第65-69页 |
| 4.3.4 成果展示 | 第69-70页 |
| 4.4 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 总结与展望 | 第71-73页 |
| 5.1 论文总结 | 第71页 |
| 5.2 下一步工作的展望 | 第71-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 附件 1、OEE获取MES数据的关键程序 | 第76-79页 |