| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-24页 |
| ·超声波传感器 | 第8-13页 |
| ·超声波传感器 | 第8-12页 |
| ·超声波传感器的技术局限性 | 第12-13页 |
| ·微型超声波传感器 | 第13-22页 |
| ·微型超声波传感器 | 第13-14页 |
| ·压电式微型超声传感器 | 第14-17页 |
| ·电容式微型超声传感器 | 第17-22页 |
| ·课题研究的目的和主要内容 | 第22-24页 |
| 第二章 非平膜电容式微型超声传感器的力电耦合特性 | 第24-53页 |
| ·电容式超声传感器的一阶集总模型 | 第24-27页 |
| ·非平膜超声传感器 | 第27-30页 |
| ·具有凸台的非平膜传感器 | 第28-29页 |
| ·具有凹槽的非平膜传感器 | 第29-30页 |
| ·非平膜超声传感器的力电耦合有限元模型 | 第30-31页 |
| ·非平膜超声传感器的力电耦合静态分析 | 第31-41页 |
| ·静态位移 | 第31-38页 |
| ·机电耦合系数 | 第38-41页 |
| ·非平膜超声传感器的力电耦合动态分析 | 第41-47页 |
| ·模态振型 | 第41-43页 |
| ·机械阻抗 | 第43-45页 |
| ·频率响应 | 第45-47页 |
| ·非平膜超声传感器的等效电路 | 第47-51页 |
| ·小结 | 第51-53页 |
| 第三章 非平膜电容式微型超声传感器的声场特性 | 第53-62页 |
| ·声场-结构耦合 | 第53-56页 |
| ·声波方程及其离散化 | 第53-55页 |
| ·声场-结构耦合方程 | 第55-56页 |
| ·非平膜超声传感器的声场模型 | 第56-57页 |
| ·非平膜超声传感器的声场特性 | 第57-61页 |
| ·声场特性 | 第57-58页 |
| ·发射声压 | 第58-61页 |
| ·小结 | 第61-62页 |
| 第四章 非平膜电容式微型超声传感器的结构参数影响分析 | 第62-81页 |
| ·平膜超声传感器参数分析 | 第62-71页 |
| ·薄膜半径与厚度 | 第62-65页 |
| ·空腔厚度 | 第65-67页 |
| ·薄膜应力 | 第67-68页 |
| ·电极尺寸 | 第68-71页 |
| ·具有凸台的非平膜超声传感器参数分析 | 第71-76页 |
| ·凸台半径与厚度 | 第71-75页 |
| ·凸台位置 | 第75-76页 |
| ·具有凹槽的非平膜超声传感器参数分析 | 第76-79页 |
| ·凹槽尺寸 | 第76-78页 |
| ·凹槽位置 | 第78-79页 |
| ·小结 | 第79-81页 |
| 第五章 非平膜电容式微型超声传感器设计制作与性能测试 | 第81-102页 |
| ·设计制作 | 第81-83页 |
| ·指向性分析 | 第83-87页 |
| ·谐振特性测试 | 第87-95页 |
| ·输入阻抗测试 | 第95-97页 |
| ·声学特性测试 | 第97-100页 |
| ·小结 | 第100-102页 |
| 第六章 总结与展望 | 第102-105页 |
| ·全文总结 | 第102-103页 |
| ·创新点 | 第103页 |
| ·工作展望 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-114页 |
| 攻读博士学位期间发表论文 | 第114-115页 |
| 致谢 | 第115页 |