基于主动红外和超声扫描的倒装芯片缺陷检测研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-8页 |
1 课题来源与背景 | 第8-17页 |
·课题来源 | 第8页 |
·课题背景 | 第8-9页 |
·国内外研究概况 | 第9-15页 |
·论文的研究内容 | 第15-17页 |
2 倒装芯片主动红外缺陷检测理论研究 | 第17-29页 |
·红外无损检测基本定律和理论 | 第17-19页 |
·主动红外检测技术 | 第19-21页 |
·基于主动红外倒装芯片无损检测方法介绍 | 第21-24页 |
·倒装芯片主动红外缺陷检测仿真研究 | 第24-28页 |
·本章小结 | 第28-29页 |
3 倒装芯片主动红外缺陷检测实验研究 | 第29-40页 |
·实验对象 | 第29-30页 |
·检测系统 | 第30-33页 |
·主动红外倒装芯片检测试验 | 第33-36页 |
·主动红外脉冲相位无损检测试验 | 第36-39页 |
·本章小结 | 第39-40页 |
4 倒装芯片超声扫描缺陷检测研究 | 第40-57页 |
·基于神经网络的倒装芯片超声图像识别技术 | 第40-41页 |
·扫描声学显微镜检测理论及图像采集 | 第41-42页 |
·超声扫描检测图像分割技术 | 第42-44页 |
·缺陷特征提取技术 | 第44-47页 |
·扫描超声检测图像神经网络识别技术 | 第47-55页 |
·本章小结 | 第55-57页 |
5 全文总结 | 第57-59页 |
致谢 | 第59-60页 |
参考文献 | 第60-64页 |
附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第64页 |