| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| ·等离子体基本概念 | 第11-12页 |
| ·描述等离子体状态的几个物理量 | 第12-13页 |
| ·微波放电等离子体基本原理 | 第13-14页 |
| ·等离子体的探针诊断 | 第14-16页 |
| ·本论文的研究目地及研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 等离子体的光谱诊断 | 第18-26页 |
| ·光谱法诊断等离子体简介 | 第19-20页 |
| ·发射光谱的产生机理 | 第20-22页 |
| ·谱线的线型和展宽 | 第22-24页 |
| ·发射光谱法测等离子体参量 | 第24-26页 |
| 第三章 MPCVD中等离子体发射光谱研究 | 第26-48页 |
| ·实验装置介绍 | 第27-30页 |
| ·实验过程简述 | 第30-31页 |
| ·微波甲烷等离子体发射光谱研究 | 第31-36页 |
| ·用两谱线法计算电子温度 | 第36-38页 |
| ·用多普勒展宽法计算离子温度 | 第38-42页 |
| ·微波氢等离子体光谱线型分析 | 第42-48页 |
| 第四章 总结 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-55页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |